在这两种系统中，一个源发射出带电粒子，这些粒子被聚焦成一个粒子束，并使用偏转板或扫描线圈在样品的小范围内进行光栅扫描。SEM使用磁透镜来聚焦电子束；然而，由于离子更重，因此速度更慢，相应的洛伦兹力更低，磁透镜就不那么有效。FIB系统配备了静电透镜，这已被证明是更有效的。SEM和FIB都是通过收集离子束...
大多数FIB仪器还配有电子束,类似于扫描电镜(SEM),因此被称为FIB-SEM双束仪器。 图1 FIB-SEM系统的成像、溅射和微加工能力 1 FIB-SEM的应用 FIB在半导体行业的应用逐渐扩展到其他学术领域,如材料科学、工程、医学等。其中,冷冻FIB(Cryo-FIB)技术有望在生物材料表征方面得到应用。FIB技术可以制作从纳米到微米尺度...
通常采用机械抛光、激光辅助沟槽蚀刻和 Ga+ FIB 的组合来减薄体硅并打开通孔。创建靶标以方便精确导航到目标电路编辑点也是Ga +FIB的常用方法。 FIB电路编辑的未来挑战:随着节点的逐级递增,层数也在增加,层的密度也在增加,层变得越来越薄,这使得FIB CE的挑战性越来越大。 有几个FIB技术因素可以提高电路编辑成功的...
将 FIB 专用的 TEM 载网竖直放入到专用样品台中，并在 FIB 中将载网倾转和样品同样的角度，缓慢上移至优中心处。移动纳米操作手使目标样品缓慢下降，轻轻贴到载网上，然后利用 GIS 系统在目标样品与 TEM 载网的接触点上沉积 Pt 并连接，连接牢固后利用离子束切割将操作手的针尖与目标样品进行断开，撤出针尖。05...
尽管气体辅助FIB诱导沉积和传统的离子束辅助沉积（IBAD）是相似的，但有明显不同。一般来说，IBAD是与其他来源一起使用的，如蒸发、溅射、脉冲激光和分子束外延。而气体辅助FIB诱导沉积是一种直接沉积，只使用聚焦离子束本身和气体，也只在受控离子束扫描的局部区域内进行沉积。气体辅助的FIB诱导沉积过程可由以下步骤...
分析步骤一：将预处理好的样品放入机台用SEM成像进行Pad整体观察，如下图：分析步骤二：在SEM大倍率下对观测的检测Pad进行检测，找到了对应的检测部位，见下图所示:分析步骤三：锁定测试位置，利用FIB对缺陷点进行离子切割。离子切割过程：在液态金属离子源中施加电场，可以在液态镓中产生微小的尖端，加上负电场对尖端...
聚焦离子束显微镜（FIB-SEM）是一种将聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）技术完美结合的综合性工具，具有高分辨率的成像能力和精确的微加工能力，成为现代科学研究与工业应用中的关键设备。其在材料科学、电子工业、生命科学以及纳米技术领域的广泛应用，充分体现了其在显微成像和微观加工上的优势。FIB-SEM双束...
原理:FIB使用高能离子束,通常是氙离子或镭离子,来定向照射半导体表面。这些离子具有足够的能量,能够在半导体表面剥离原子,形成微小的凹陷或沟槽。 应用:FIB广泛用于样品切割、修复、修饰和掺杂。在半导体制造中,它可以用于制作微小的结构、修复制程中的缺陷,以及进行器件的故障分析。 2.Scanning Electron Microscopy (SEM...
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB）和扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）功能的系统，如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用，集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦在试样表面...
典型FIB-SEM双束设备内部示意图 微电子领域的应用实例 FIB技术能够精确地揭示器件特定微小区域的截面，生成高分辨率的清晰图像，不受加工材料的限制，并且能够在蚀刻的同时，利用SEM进行实时观察。这种截面分析是FIB技术最普遍的应用之一，其刻蚀断面的定位精度极高，且在整个制样过程中，样品受到的应力较小，保证了断面...