FIB-SEM(聚焦离子束扫描电子显微镜)是一种高分辨率三维成像和样品处理技术。 FIB 代表聚焦离子束。使用高能离子束刮擦样品表面,进行详细处理和观察。离子束可以以非常小的光斑尺寸聚焦在样品上,从而允许亚微米或纳米级的处理和观察。 SEM 代表扫描电子显微镜。采用高能电子束扫描样品表面,以高分辨率观察其表面形状和结构。