太阳能电池是利用光生伏特效应,直接将太阳能转换成电能的光电器件。太阳能电池的研究已经有相当长的历史,提高太阳电池的光伏转换效率,降低制作成本是这一领域永恒的主题,也是有关科研工作者共同努力的方向。太阳能光伏电池的研发经历了三个阶段,目前研发和商
必应词典为您提供ecr-pecvd的释义,网络释义: 电子回旋共振;等离子体增强化学气相沉积;
ECR-PECVD多晶硅薄膜反射高能电子衍射在自行设计研制的先进电子回旋共振(ECR)等离子体增强化学气相沉 (PECVD)装置上,采用"ECR-PECVD"可控活化低温外延技术,以SiH4+H2 为气源,硅和普通玻璃为衬底,低温(≤550℃)制备多晶硅薄膜。利用反射高能电子衍射(RHEED)、透射电子显徽镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)研究了 SiH4流量、...
ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜
ECR_PECVD方法低温制备多晶硅薄膜.docx,引言 近年来 ,人们对多晶硅薄膜在电子器件应用方面的研究日益广泛 ,比如薄膜晶体 (TFTs 和薄膜太阳能电池 [1,2] 。多晶硅薄膜与非晶硅薄膜和单晶硅薄膜相比 ,不但有更高的电子迁移率、更高光敏性和较高的载流子浓度 ,而且没有效率衰减
4.根据权利要求1所述的一种进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置,其特征在于:偏压源(11)在调节的过程中会使腔体内的电场发生明显的变化,导致样品吸引离子的能量不同,最终决定离子的束流量。 5.根据权利要求1所述的一种进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置,其特征在于:在加热炉盘(10)以及水冷(8)的作用下可以精确的控制...
ECR-PECVD ECR/A ECR1 ECRA ECRAC ECRAF ECRAM ECRB ECRBL ECRC ECRCE ECRCI ECRCVD ECRD ECRDA ECRDC ECRDI ECRDM ECRE ECREA ECREAD'N ECREEA eCRF ECRFD ECRG ECRGS ▼ Full browser ? ▲ ECPPT ECPR ECPRD ECPRT ECPS ECPS ECPSG ECPSOP ECPSSR ECPT ECPTA ECPTOTE ECPU ECPV ECPW EC...
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华南师范大学物理系510631 中国科学院等离子体物理研究所合肥230031摘要 利用TEM和PDS显微光度计研究了ECR-PECVD技术制备的Si3N4薄膜的微结 构。结果表明:在较低沉积温度下,ECR-PECVD制备的Si3N4薄膜是一种纳米a-Si3N4 薄膜,其d^粒粒度仡14～29nm间,而且这种薄膜具有较好的表面、r整度。 1引言 Si,N4薄膜材料...
采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术在单晶衬底上制备了SiO2薄膜,研究了射频偏压对薄膜特性的影响。通过X射线光电子能谱(XPS)、傅里叶变换红外线光谱(FTIR)、原子力显微镜(AFM)和扫描隧道显微镜(STM)三维形貌图测量等手段,对成膜特性进行了分析。实验结果表明,通过改变射频偏压的参数来控制离...