太阳能电池是利用光生伏特效应,直接将太阳能转换成电能的光电器件。太阳能电池的研究已经有相当长的历史,提高太阳电池的光伏转换效率,降低制作成本是这一领域永恒的主题,也是有关科研工作者共同努力的方向。太阳能光伏电池的研发经历了三个阶段,目前研发和商
必应词典为您提供ecr-pecvd的释义,网络释义: 电子回旋共振;等离子体增强化学气相沉积;
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ECR-PECVD多晶硅薄膜反射高能电子衍射在自行设计研制的先进电子回旋共振(ECR)等离子体增强化学气相沉 (PECVD)装置上,采用"ECR-PECVD"可控活化低温外延技术,以SiH4+H2 为气源,硅和普通玻璃为衬底,低温(≤550℃)制备多晶硅薄膜。利用反射高能电子衍射(RHEED)、透射电子显徽镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)研究了 SiH4流量、...
ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜
3、R-PECVD 低温沉积方法 ,以质量分数为 5%的 SiH4(配 Ar 气 ,SiH4: Ar =1:19 和H2 为反应气体 ,在普通玻璃和单晶硅片衬底上直接沉积多晶硅薄膜,以期寻找到适合大规模工业化生产的方法。当衬底温度为500时 ,即能沉积高质量的多晶硅薄膜。沉积前 ,H2等离子体的清洗时间和流量对多晶薄膜的质量有较大的影响。
摘要:采用ECR-PECVD低温沉积方法,以质量分数为5%的SiH 4(配Ar气,SiH 4 :Ar=1:19和 H2为反应气体,在普通玻璃和单晶硅片衬底上直接沉积多晶硅薄膜,以期寻找到 适合大规模工业化生产的方法。当衬底温度为500℃时,即能沉积高质量的多晶硅薄 膜。沉积前,H ...
低温下PolySi薄膜的ECRPECVD生长及特性研究
华南师范大学物理系510631 中国科学院等离子体物理研究所合肥230031摘要 利用TEM和PDS显微光度计研究了ECR-PECVD技术制备的Si3N4薄膜的微结 构。结果表明:在较低沉积温度下,ECR-PECVD制备的Si3N4薄膜是一种纳米a-Si3N4 薄膜,其d^粒粒度仡14～29nm间,而且这种薄膜具有较好的表面、r整度。 1引言 Si,N4薄膜材料...
3.根据权利要求1所述的一种进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置,其特征在于:当腔体气压抽到所需值时调节微波源(1),微波的能量与通电线圈(2)产生磁场相互作用使其达到气体的共震频率,促使气体电离。 4.根据权利要求1所述的一种进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置,其特征在于:偏压源(11)在调节的过程中会使腔体内的电...