纳米集成电路制造工艺(第2版)pdf 纳米集成电路制造工艺(第2版)一、制造工艺基础 纳米集成电路制造工艺是基于微电子学原理,通过一系列复杂的物理和化学过程,将设计好的电路结构精确地制造出来。这个过程中,每个步骤都必须严格控制,以保证最终产品的性能和可靠性。二、薄膜制备技术 薄膜制备是制造工艺中的重要环节,...
本书共19章,涵盖先进集成电路工艺的发展史,集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化,器件参数与工艺相关性,DFM(Design for Manufacturing),集成电路检测与分析、集成电路的可靠性,生产控制,良率提升,芯片测试与芯片封装等内容。 再版时加强了半导体器件方面的内容,增...
纳米集成电路制造工艺(第2版) pdf epub mobi txt 电子书 下载 具体描述 编辑推荐 超大规模集成电路的生产工艺,从“微米级”到“纳米级”发生了许多根本上的变化。甚至,从45nm缩小至28nm(以及更小的线宽)也必须使用许多新的生产观念和技术。 张汝京先生是随着半导体产业的发展成长起来的领军人物,见证了几个技术世代...
纳米集成电路制造工艺(第2版) 张汝京 等 9787302452331 pdf epub mobi txt 电子书 下载 具体描述 基本信息 书名:牛市 :28.00元 售价:15.4元,便宜12.6元,折扣55 作者:尹宏 出版社:海天出版社 出版日期:2009-08-01 ISBN:9787806979426 字数: 页码: 版次:1 ...
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版次:2 印次:1 开本:16开 包装:平装 页数:471 字数:744千字 内容提要 张汝京等编著的《纳米集成电路制造工艺(第2版 )》共分19章,涵盖**集成电路工艺的发展史,集 成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、 表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化,器件 参数与工艺相关性,DFM(Design for Manufacturi...