纳米集成电路制造工艺(第2版)pdf 纳米集成电路制造工艺(第2版)一、制造工艺基础 纳米集成电路制造工艺是基于微电子学原理，通过一系列复杂的物理和化学过程，将设计好的电路结构精确地制造出来。这个过程中，每个步骤都必须严格控制，以保证最终产品的性能和可靠性。二、薄膜制备技术 薄膜制备是制造工艺中的重要环节，...
本书共19章,涵盖先进集成电路工艺的发展史,集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化,器件参数与工艺相关性,DFM(Design for Manufacturing),集成电路检测与分析、集成电路的可靠性,生产控制,良率提升,芯片测试与芯片封装等内容。 再版时加强了半导体器件方面的内容,增...