22-14纳米集成电路器件工艺先导技术 下载积分:5000 内容提示: CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY ACHIEVEMENTS\第03期\2018年\中国科技成果成果推广51E-mail:zhangsp@csta.org.cn\张淑萍\编辑完成单位 :中国科学院微电子研究所 武汉新芯集成电路制造有限公司 复旦大学主要完成人 :叶甜春 徐秋霞 陈大鹏 殷华湘 霍宗亮 张...
纳米集成电路装备技术器件工艺先进制造工艺信息产业发展IC市场装备国产化市场占有率集成电路(IC)先进制造工艺和高端制造装备国产化是IC持续发展的基础,是支撑国家信息产业发展和保障国家安全的关键技术.IC制造工艺发展以核心半导体器件尺寸微缩为主要内容,实现IC密度和性能的不断提高及成本的持续下降,以推动IC和信息产业的蓬...
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纳米集成电路国家技术发明奖器件工艺集成电路产业进口产品社会发展国民经济新兴产业集成电路产业作为国民经济和社会发展的战略性,基础性和先导性产业,是培育新兴产业,发展信息经济的重要保障.然而,我国集成电路产业发展一直落后于西方世界,集成电路作为我国最大量进口产品,国家每年需要花费2300亿美金从别国进口.能否掌握集成电...
《22-14纳米集成电路器件工艺先导技术》，是依托于中国科学院微电子研究所、武汉新芯集成电路制造有限公司、复旦大学，主要由叶甜春、徐秋霞、陈大鹏、殷华湘、霍宗亮、张卫完成的科研项目。项目简介 该项目通过产学研合作研究与集中开发，在22-14纳米集成电路先进制造技术中创新研发了高k金属栅、22纳米平面器件集成、14...