另一种测试欧姆接触的方法是使用专门的测试设备将信号应用于测试样品上并测量其响应,例如电阻,电流和电压等。 在制备良好的欧姆接触过程中,一些工艺因素需要特别注意。首先,金属和半导体之间应保持足够密接,并且需要特别处理以降低其接触电阻。其次,在制造过程中应尽可能避免热处理和高温,以防止在界面上产生能带弯曲和电...
内容简介 本书较详尽的叙述了集成电路中欧姆接触的形成原理,测量方法和制造工艺、分析了欧姆接触在形成和使用过程中发生的界面冶金反应及其对接触电阻的影响等。作者简介 暂缺《金属-半导体界面欧姆接触的原理、测试与工艺》作者简介图书目录 暂缺《金属-半导体界面欧姆接触的原理、测试与工艺》目录...