内容简介 本书较详尽的叙述了集成电路中欧姆接触的形成原理,测量方法和制造工艺、分析了欧姆接触在形成和使用过程中发生的界面冶金反应及其对接触电阻的影响等。作者简介 暂缺《金属-半导体界面欧姆接触的原理、测试与工艺》作者简介图书目录 暂缺《金属-半导体界面欧姆接触的原理、测试与工艺》目录...