金属-半导体界面欧姆接触的形成原理是基于输运理论,在该理论中,金属和半导体之间的电子输运是由两个相互作用的过程控制的,即金属电子的输运和半导体空穴(或自由电子)的输运。界面上的这两种扩散过程可能会导致电荷分布不均匀,从而导致局部位势变化和能带弯曲。如果这些效应足够强,就会形成一个电势垒,它可以限制电子和空穴...
内容简介 本书较详尽的叙述了集成电路中欧姆接触的形成原理,测量方法和制造工艺、分析了欧姆接触在形成和使用过程中发生的界面冶金反应及其对接触电阻的影响等。作者简介 暂缺《金属-半导体界面欧姆接触的原理、测试与工艺》作者简介图书目录 暂缺《金属-半导体界面欧姆接触的原理、测试与工艺》目录...