定容式流量计的测量范围为(10-2～10-8)Pa·m3/s,为了扩展测量下限,采用流导法,测量范围为(10-6~10-11)Pa·m3/s。在校准装置的设计中,采用定容式流量计和流导法组合,使流量的测量范围宽。 2.1、定容式流量计 定容式流量计可测量流入定容室中的流量,直接对质量流量计和真空漏孔进行校准,称为流量流入法;也...
校准气体以稳定流量pG通过针阀K,由进气管注入校准室。气体以分子流流经一薄壁小孔并由真空系统抽除。在达到动态平衡时,在小孔上方的校准室建立起已知的低压力p,用它来校准真空计G。校准室的压力可由式29计算。 由于系统的有效抽速比小孔流导大很多,故使得小孔下游的压力户。远小于校准室压力p,这样小孔下游压力测...
校准气体以稳固流量pG经过针阀K,由进上呼吸道注入校准室。气体以分子流流经一薄壁小孔并由真空零碎抽除。在达成静态失调时,在小孔上方的校准室构建起已知的工业气压力p,用它来校准真空计G。校准室的压力可由式29划算。 因为零碎的无效抽速比小孔流导大很多,故使得小孔上游的压力户。远小于校准室压力p,那样小孔上...
小孔流导法 小孔流导法是一种测量气体流导的方法,适用于在分子流条件下测量小孔的流导值。在分子流条件下,小孔流导值是恒定的,流导的大小与小孔的几何形状有关。对于几何形状规则的小孔,可通过理论计算得到流导值;而对于几何形状不规则的小孔,只能通过实验的方法测量流导值。
1.小孔流导法测量仪:该仪器用于测量材料中气体的流动速度和压力差。它由一个带有小孔的装置组成,材料放气时,气体从材料中的小孔流出,并通过测量仪的传感器测量流动速度。 2.气压传感器:气压传感器用于测量材料放气过程中的压力差。它可以安装在测量仪的入口和出口位置,实时测量到流动气体的压力差。 3.流量计:流量计...
在真空系统中,连接管道通常采用的是圆截面管道,被抽气体又多为室温下的空气,因此这里只简要介绍粘滞流时圆孔和圆截面管道对室温空气的流导计算。 ①薄壁孔 粘滞流时气体流经薄壁孔,如图4所示,当P1>P2时,气体从I空间流向II空间。试验发现:当P1不变时,随P2下降,通过孔口的流速和流量都增加,但当P2下降到某一...
动态流导法真空装置 动态流导法真空装置是一种用于物理学领域的计量仪器，于2016年12月17日启用。技术指标 测量范围：5e-7Pa至5E-3Pa。主要功能 5e-7Pa至5E-3Pa范围内的真空度测量。
动态流导法是连续地把已知流量Q 的气体注入到校准室中, 通过已知流导的小孔抽气, 在校准室内建立起可精确计算的动态平衡压力的校准方法。如果校准室中处于等温状态, 气体分子各向同性, 均匀分布, 采用前级流量法, 则有 Q + Q 0 - PuSg - (Pu- Pl)C = V.dPv/dt(1) ...
定容式流导法微流量校准装置的设计 维普资讯 http://www.cqvip.com