小孔流导法小孔流导法 小孔流导法是一种测量气体流导的方法,适用于在分子流条件下测量小孔的流导值。在分子流条件下,小孔流导值是恒定的,流导的大小与小孔的几何形状有关。对于几何形状规则的小孔,可通过理论计算得到流导值;而对于几何形状不规则的小孔,只能通过实验的方法测量流导值。©2022 Baidu |由 百度智能云 提供计算服务 | 使用百度前必读 | 文库协议 | 网站地图...
1、小孔流导法测量材料放气率 1.1、测量装置 小孔流导法材料放气率测量装置原理图图1 所示,由抽气系统,温控系统,四极质谱计、冷规、分离规、高真空室、对称的两个测试室、超高真空室、小孔、超高真空角阀等组成。抽气系统由主抽分子泵、辅抽分子泵、机械泵、阀门等组成。测试室采用对称的结构,通过角阀与高真空...
图1 定容法气体微流量校准装置 2.2、定容法测量小孔流导的原理 当温度恒定时,在分子流条件下,某一种气体通过小孔流出,这时小孔的流导值是恒定的,可用下式计算 (1) 式中c为小孔的流导,m3/s; Q为气体通过孔的流量,Pa·m3/s; p、 p1,为分别为小孔两侧的气体压力,Pa。 当孔两侧的气体压力P、P1之比大于1...
1.小孔流导法测量仪:该仪器用于测量材料中气体的流动速度和压力差。它由一个带有小孔的装置组成,材料放气时,气体从材料中的小孔流出,并通过测量仪的传感器测量流动速度。 2.气压传感器:气压传感器用于测量材料放气过程中的压力差。它可以安装在测量仪的入口和出口位置,实时测量到流动气体的压力差。 3.流量计:流量计...
小孔流导测量方法的分析 1、引言 在分子流条件下小孔流导值是恒定的,流导的大小与小孔的几何形状有关。对于几何形状规则的小孔,可通过理论计算得到流导值;而对于几何形状不规则的小孔,只能通过实验的方法测量流导值。对于直径仅有10μm的小孔来说,通过实验测量小孔的流导值,可向真空系统提供已知的气体流量,这...
小孔流导法材料放气率测量装置的设计
对于形状规则的小孔的流导可以通过理论计算得到, 对于尺寸无法准确测量的小孔, 其流导只能通过实验的方法测量得到。测量方法通常有恒压法、定容法和线性真空规法。测量流导的装置主要由气体流量计、定容室、抽气系统、测量系统等组成。
定容法测量小孔流导测量装置 小孔流导的大小不仅取决于小孔的大小、形状、厚度等几何尺寸,而且还取决于通过小孔的气体成分与气体的流动状态。在分子流条件下,对于确定的气体来说,小孔流导值是恒定的; 当进气压力偏离分子流时,小孔的流导就随进气压力的不同而不同。