校准气体以稳定流量pG通过针阀K,由进气管注入校准室。气体以分子流流经一薄壁小孔并由真空系统抽除。在达到动态平衡时,在小孔上方的校准室建立起已知的低压力p,用它来校准真空计G。校准室的压力可由式29计算。 由于系统的有效抽速比小孔流导大很多,故使得小孔下游的压力户。远小于校准室压力p,这样小孔下游压力测量值误差对校准压力的影响很小
动态流导法真空校准装置如图1 所示, 由真空校准系统、恒压式气体微流量计和抽气系统三部分组成。 真空校准系统 真空校准系统采用了双球形结构, 由上球室和下球室两部分组成, 在上球室与下球室之间有一个小孔板, 小孔位于上球室与下球室的内切球的割线上, 小孔的直径511mm , 小孔对氮气的流导约为10 L ...
动态流导法测溅射离子泵抽速原理与步骤 溅射离子泵抽速抽速测量方法包括动态流导法和静态法。考虑到静态法中出气影响较大,采用了动态流导法。如图2 所示,气体由充气室经过标准流导进入测试室,然后被微型溅射离子泵抽走。 图2 动态流导法示意图 通过测量标准流导两端充气室和测试室的压强P1、P2,按如下公式计算...
1. Calibration principle and method of dynamic flow method vacuum calibration apparatus is introduced. 介绍了动态流导法真空校准装置的校准原理、校准方法,测试了性能指标,校准了分离规和磁悬浮转子规。2) method of dynamic current 动态电流法3) dynamic traffic routing guidance 动态交通流诱导...
在真空系统中,连接管道通常采用的是圆截面管道,被抽气体又多为室温下的空气,因此这里只简要介绍粘滞流时圆孔和圆截面管道对室温空气的流导计算。 ①薄壁孔 粘滞流时气体流经薄壁孔,如图4所示,当P1>P2时,气体从I空间流向II空间。试验发现:当P1不变时,随P2下降,通过孔口的流速和流量都增加,但当P2下降到某一...
在动态流导法真空校准中,在校准温度23℃下,根据校准气体,在不同的压力下,应按上述方法计算出对应的小孔流导值。 4、性能测试结果 实验内容主要包括三个方面,真空校准系统的性能测试恒压式气体微流量计的性能测试和真空规的校准实验。 4.1、真空校准系统性能测试 ...
溅射离子泵抽速抽速测量方法包括动态流导法和静态法。考虑到静态法中出气影响较大,采用了动态流导法。如图2 所示,气体由充气室经过标准流导进入测试室,然后被微型溅射离子泵抽走。 图2 动态流导法示意图 通过测量标准流导两端充气室和测试室的压强P1、P2,按如下公式计算出微型溅射离子泵对测试室的抽速Ss(单位...
动态流导法是连续地把已知流量Q 的气体注入到校准室中, 通过已知流导的小孔抽气, 在校准室内建立起可精确计算的动态平衡压力的校准方法。如果校准室中处于等温状态, 气体分子各向同性, 均匀分布, 采用前级流量法, 则有 Q + Q 0 - PuSg - (Pu- Pl)C = V.dPv/dt(1) ...