(1)成像法 使用电子轰击荧光屏,通过观察荧光屏判断电子束尺寸,考虑到光学传递误差,通常可观察最小电子束斑约10um。 (2)扫描法 利用法拉第杯来测量电子束电流,挡板水平运动遮挡电子束流,同时监测法拉第杯中电流变化,根据电流的微分曲线可以直接定量测量电子束的宽度,对于系统的分辨率具有较高要求。 3. 阿米精控测量...
一、调整电子束的聚焦 扫描电镜通过电磁透镜系统对电子束进行聚焦。通过调整透镜的电流,可以改变电子束的聚焦程度,进而影响束斑尺寸。增加透镜电流通常会使束斑变小,反之则会使束斑变大。因此,操作人员可以根据需要精细调节透镜电流,以获得理想的束斑尺寸。 二、调整镜头孔径光阑 孔径光阑是控...
1.场发射扫描电镜(FE-SEM) 在进行束斑调整之前,需要进行预调节。预调节的方法是将扫描电镜的束斑尽可能大,然后调节衰减器、透镜和光栅,最终将束斑收敛到所需大小。 2.扭曲电场扫描电镜(DC-SEM) 对于扭曲电场扫描电镜,需要调整弯曲度以控制束斑大小。具体的调整方法是,首先使用样品前的真空空间进行束斑调整...
束流的选择要视具体情况,在拍摄高分辨时,需要较小的束流来获得小束斑;常规倍数可以增加束流来满足信噪比的需要;而对于分析附件,往往需要比图像拍摄大很多的束流。 对于束斑的调节,通常都认为束斑扩大会降低分辨率,如图5-22,但是反之,束斑越小真的就能获得更好的图像吗?
1.光源的类型:不同的光源,其束斑尺寸会有所不同。例如,激光光源通常具有较小的束斑尺寸,因为它具有很好的聚焦能力。 2.光源与物体的距离:光源与物体的距离越近,束斑尺寸越小。这是因为光源的聚焦能力通常在近距离内表现得更好。 3.光源的聚焦能力:光源的聚焦能力也会影响束斑尺寸。例如,如果光源具有很好的聚...
电磁透镜的构造是将一个轴对称螺旋绕制的铜芯线圈置于一个由软磁材料制成,内部插入磁导率更高的锥形环状极靴,该构造可以使磁场强度、均匀性、对称性得到极大提升,从而在较小空间获得更大的电磁折射率来提升磁透镜的会聚效果,使扫描电镜可以获得尺寸极小的电子束斑,拥有远大于光学显微镜的放大倍率。
束斑束流对成像影响的评价 (红色为不利,橙色为有利) 束流和束斑的选择,可以通过控制电子源、光阑孔径和第一聚光镜强度等措施来实现。许多电镜显示值跟测量值不一致,又或者不显示束流,这时可以使用法拉第杯测量真实束流。束斑测量则有一定难度。 如果需要了解更多扫描电镜测试相关内容,可以联系武汉铄思百检测(www...
[光]束斑 释义 beam spot 聚束照明,聚束光,射束点; 行业词典 物理学 beam spot
束斑[点]束斑[点]（beam spot）是1998年公布的电气工程名词。出处 《电气工程名词》。公布时间 1998年，经全国科学技术名词审定委员会审定发布。