使用电子轰击荧光屏,通过观察荧光屏判断电子束尺寸,考虑到光学传递误差,通常可观察最小电子束斑约10um。 (2)扫描法 利用法拉第杯来测量电子束电流,挡板水平运动遮挡电子束流,同时监测法拉第杯中电流变化,根据电流的微分曲线可以直接定量测量电子束的宽度,对于系统的分辨率具有较高要求。 3. 阿米精控测量方案 阿米精控...
这个距离对束斑尺寸也有显著影响。通常情况下,减小工作距离可以使电子束更加聚焦,从而减小束斑尺寸。然而,过短的工作距离可能会增加样品被污染的风险,因此需要在实际操作中寻找一个平衡点。 综上所述,通过调整电子束的聚焦、镜头孔径光阑以及优化工作距离,我们可以有效地控制扫描电镜的束斑尺寸。...
1.光源的类型:不同的光源,其束斑尺寸会有所不同。例如,激光光源通常具有较小的束斑尺寸,因为它具有很好的聚焦能力。 2.光源与物体的距离:光源与物体的距离越近,束斑尺寸越小。这是因为光源的聚焦能力通常在近距离内表现得更好。 3.光源的聚焦能力:光源的聚焦能力也会影响束斑尺寸。例如,如果光源具有很好的聚...
通过收集电流和位移变化，可以分析电子束的稳定性，如图所示，其结果显示出极高的精度，束斑半高宽仅为32.4纳米。然而，为了监控电子束的稳定性，测量过程中需注意单次采集时间限制，以检测可能的漂移情况。这表明阿米精控的测量方案不仅提供了精确的数据，还具备实时监控电子束动态的能力。
高斯分布电子束束斑尺寸的测量方法,包括步骤:将电子束以直线路径扫描刀口,并在扫描的过程中检测电子束状态信号和电子束扫描距离;电子束状态信号包括散射电子信号强度或透过刀口的电子束功率;其中直线路径与所述刀口的布置方向呈夹角θ,夹角θ的范围为5°～30°;根据电子束状态信号和电子束扫描距离,得到电子束的束斑...
060203-2 廖 浪等:6 MeV 医用电子直线加速器中束斑尺寸的计算与测量 1.1 均方根束斑 算的电子面密度分布曲线,直接读取拟合曲线得到 x 方向的 FWHM=1.82 mm ,y 方向的 FWHM= 均方根束斑大小的计算方法是依照其定义而来 1.86 mm。 的,即把全部的传输电子(透过输出窗的电子)的 横向位置参数代入式(1): ...
如图2所示,电离室和EBT3胶片测量的束流剖面结果展现出很好的一致性。通过对比分析研究团队发现两种探测器在测量束斑尺寸和位置的结果也能很好的符合,其中尺寸测量的偏差在±0.18 mm以内,位置测量的偏差在±0.17 mm以内,这体现了条带电离室优异的测量精度。此...
一种电子枪束斑尺寸的测量装置及方法专利信息由爱企查专利频道提供,一种电子枪束斑尺寸的测量装置及方法说明:本发明公开了一种电子枪束斑尺寸的测量装置及方法,包括样品位移台、放置于样品位移台上的束斑探测器...专利查询请上爱企查