在低加速电压下工作时,由于电子束的能量较低,电子束的扩散效应较小,因此更适合使用小束斑尺寸来获取高分辨率图像。 实现方法 为了实现小束斑尺寸,可以通过以下方式调整: 1)减小物镜光阑:缩小光阑孔径可以直接减小束斑尺寸。 2)提高加速电压:更高的加速电压通常能产生更细的束...
电子束光刻机的束斑尺寸是指电子束在晶圆上形成的最小光斑直径,直接影响光刻的分辨率和精度。店内提供的大学实训平台,其配备的光刻机采用先进的电子束技术,束斑尺寸精确控制,满足高精度加工需求。此外,平台支持加工定制,可根据具体需求调整参数。现在店内正好有相关设备和专业技术人员,可以为您提供更详细的信息和定制...
1.光源的类型:不同的光源,其束斑尺寸会有所不同。例如,激光光源通常具有较小的束斑尺寸,因为它具有很好的聚焦能力。 2.光源与物体的距离:光源与物体的距离越近,束斑尺寸越小。这是因为光源的聚焦能力通常在近距离内表现得更好。 3.光源的聚焦能力:光源的聚焦能力也会影响束斑尺寸。例如,如果光源具有很好的聚...
使用电子轰击荧光屏,通过观察荧光屏判断电子束尺寸,考虑到光学传递误差,通常可观察最小电子束斑约10um。 (2)扫描法 利用法拉第杯来测量电子束电流,挡板水平运动遮挡电子束流,同时监测法拉第杯中电流变化,根据电流的微分曲线可以直接定量测量电子束的宽度,对于系统的分辨率具有较高要求。 3. 阿米精控测量方案 阿米精控...
这个距离对束斑尺寸也有显著影响。通常情况下,减小工作距离可以使电子束更加聚焦,从而减小束斑尺寸。然而,过短的工作距离可能会增加样品被污染的风险,因此需要在实际操作中寻找一个平衡点。 综上所述,通过调整电子束的聚焦、镜头孔径光阑以及优化工作距离,我们可以有效地控制扫描电镜的束斑...
成像法是电子束斑测试的一种常用方法,它通过电子轰击荧光屏,观察荧光屏上的电子束斑图像,从而判断电子束尺寸。由于光学传递误差的存在,成像法可观察的最小电子束斑约为10um。成像法简单易行,但精度相对较低。 二、扫描法 扫描法是一种更为精...
可以评估电子束的稳定性和测量宽度。例如，当加速电压为5kV，聚光镜值为850时，束斑半高宽达到32.4纳米。测量结果显示，平台运动精度极高，电子束的电流和位置变化曲线一致，通过高斯拟合可以精准获取电子束尺寸。同时，快速的采集时间还能够检测电子束的稳定性，揭示了电子束漂移的情况。
060203-2 廖 浪等:6 MeV 医用电子直线加速器中束斑尺寸的计算与测量 1.1 均方根束斑 算的电子面密度分布曲线,直接读取拟合曲线得到 x 方向的 FWHM=1.82 mm ,y 方向的 FWHM= 均方根束斑大小的计算方法是依照其定义而来 1.86 mm。 的,即把全部的传输电子(透过输出窗的电子)的 横向位置参数代入式(1): ...
和所用的信号种类和束斑尺寸有关, 因为不同信号的扩展效应不同,例如二次电子产生的区域比背散射电子小。束斑尺寸越小,产生信号的区域也小,分辨率就高。 1.透射电镜中如何获得明场像、暗场像和中心暗场像?相关知识点: 试题来源: 解析 答:如果让透射束进入物镜光阑,而将衍射束挡掉,在成像模式下,就得到明场象。