1. 电子束尺寸测量的意义 通常电子束光刻(EBL,Electron Beam Lithography)的曝光工艺,需要根据电子束的辐照密度确定曝光时间,准确测量聚焦电子束的尺寸才能得到准确的电子束辐计量。 电子束斑测量可作为扫描电子显微镜(SEM,Scanning Electron Microscope)、透射电子显微镜(TEM,Transmission Electro
一、成像法 成像法是电子束斑测试的一种常用方法,它通过电子轰击荧光屏,观察荧光屏上的电子束斑图像,从而判断电子束尺寸。由于光学传递误差的存在,成像法可观察的最小电子束斑约为10um。成像法简单易行,但精度相对较低。 二、扫描法 扫描法...
测量装置搭建涉及SEM、三轴压电扫描平台、弱电流放大器、位移台和控制采集系统等设备。通过精确的电流和位置同步采集，可以评估电子束的稳定性和测量宽度。例如，当加速电压为5kV，聚光镜值为850时，束斑半高宽达到32.4纳米。测量结果显示，平台运动精度极高，电子束的电流和位置变化曲线一致，通过高斯拟合...
一种大功率电子束束斑测量方法,包括以下步骤:法拉第杯沿直线轨迹移动;电子束束斑沿与所述直线轨迹相交的圆形轨迹移动若干圈,且电子束束斑在每圈与法拉第杯相遇时,所述法拉第杯获取若干采集点的坐标及对应的电流信号;基于各圈采集点的坐标及对应的电流信号得到所述电子束束斑的束斑特性;本发明通过使电子束束斑做...
束斑测量是加速器等各领域很基础的测量束流横向参数的系统,一般都是一套电动或气动的机构带着靶片(和束流方向夹角45度)插进束流通过的管道挡住束流,之后在垂直束流方向通过观察窗架摄像头看。 如上图所示为红外自由电子激光装置电子枪后面的FLAG(我们称作flag是因为靶像个小旗子被举起或放下,不知道说法对不对...
根据 T .S hintake 的理论 ,提 出一种束 斑测量方案,使用 由钇铝石榴石激光器 (YAG)发出的两条分裂光束在 小交叉角上的干涉. 分裂的激光束被聚焦后交会在一个相 互作用 点上,产生一个小 间 隔的平行带的干涉图像.当一个高强度电子束团到来时 一些粒子与 激光光子碰撞,产生高能 . }l 射线(逆康普顿...
060203-2 廖 浪等:6 MeV 医用电子直线加速器中束斑尺寸的计算与测量 1.1 均方根束斑 算的电子面密度分布曲线,直接读取拟合曲线得到 x 方向的 FWHM=1.82 mm ,y 方向的 FWHM= 均方根束斑大小的计算方法是依照其定义而来 1.86 mm。 的,即把全部的传输电子(透过输出窗的电子)的 横向位置参数代入式(1): ...
束那样可以进行简单,直观的束斑截面测量。我们根据多次实验的结果提出了一个对高强 度,超声速分子束的束斑进行方便检测的方法,并研制了一套垒玻璃结椅装置,使用此装置 对不同气体分子柬的束斑进行了测量,通过与理论计算值,光学测量值比较,获得了满意的
一、传统束斑电流测量方法的缺陷传统束斑电流测量方法主要包括热电偶、焦耳效应、感光元件等方法。这些方法准确性和精度都有不同程度的限制。首先,热电偶法是一种测量光束斑面功率的方法,其测量精度受到许多因素的影响,例如热电偶灵敏度、热电偶热阻等因素,而且需要进行低功率和高功率电路的切换,操作繁琐。其次,焦耳...
本发明公开了一种精确测量离子束束斑宽度的装置和方法,涉及离子注入机,属于半导体集成电路器件制造领域。该装置包括移动法拉第杯,剂量采样法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机。由计算机协调各部分动作并进行控制。测量方法包括移动法拉第杯沿水平方向穿过靶室;在移动法拉第杯停顿的每个位置点...