异质外延,即在不同物质的衬底上生长外延薄膜,通常不是一个简单的过程。然而,异质外延不仅提供了功能集成设备层具有成本效益的基质,还提供了一个路径向实现高效和功能设备通过结合多层薄膜与不同的电子、光子、磁性和声子特性,因此一直尽最大努力生长异质外延层材料高质量。异质外延的主要挑战来自于外延薄膜的应变。由...
IT之家 12 月 11 日消息,上海应用技术大学团队携手国科大杭州高等研究院、美国麻省理工学院(MIT)等国内外单位,在二维半导体材料异质外延方面取得重要进展。项目背景简介 随着我国在高性能探测技术领域应用需求的持续增长,对新型光探测材料提出了更高要求。作为光电探测技术最核心材料之一,异质外延半导体材料因其优异...
异质外延对衬底有以下要求 晶格匹配:为了实现高质量的异质外延,外延层的晶格常数应与衬底材料的晶格常数尽可能接近。晶格失配会导致应力和缺陷的产生,影响器件的性能。如果失配较大,可能需要采用缓冲层或渐变层来缓解晶格失配带来的问题。 热膨胀系数匹配:外延层和衬底材料的热膨胀...
近日,西安交大研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化。团队通过对成膜均匀性、温场及流场的有效调控,提高了异质外延单晶金刚石成品率。新一代碱基编辑技术 开发方面取得重大突破 中国科学院天津工业生物技术研究所研究员毕昌昊带领的合成生物技术研究团队...
IT之家 12 月 11 日消息,上海应用技术大学团队携手国科大杭州高等研究院、美国麻省理工学院(MIT)等国内外单位,在二维半导体材料异质外延方面取得重要进展。 项目背景简介 随着我国在高性能探测技术领域应用需求的持续增长,对新型光探测材料提出了更高要求。
科技日报北京8月1日电 (记者马爱平)记者从北京石墨烯研究院获悉,中国科学院院士、北京大学/北京石墨烯研究院院长刘忠范与中科院半导体所研究员刘志强、北京大学物理学院研究员高鹏等合作,提出了一种纳米柱辅助的范德华外延方法,国际上首次在玻璃衬底上成功异质外延出连续平整的准单晶氮化镓薄膜,并制备了蓝光发光二极管(LED...
作为光电探测技术最核心材料之一,异质外延半导体材料因其优异的光电性能展现出广阔的应用前景。 然而,受晶格匹配限制,这些材料在单一衬底上的异质外延往往面临较高的晶格应变,导致界面质量下降,晶体缺陷增加,面临诸多“卡脖子”技术,同时昂贵的半导体设备及复杂的半导体工艺技术限制了其广泛应用。
IT之家12 月 11 日消息,上海应用技术大学团队携手国科大杭州高等研究院、美国麻省理工学院(MIT)等国内外单位,在二维半导体材料异质外延方面取得重要进展。 项目背景简介 随着我国在高性能探测技术领域应用需求的持续增长,对新型光探测材料提出了更高要求。
晶体异质外延(Epitaxy)的生长方式包括但不限于: 1. 气相外延:气相外延是通过控制气体源的成分、温度、压力等参数,使材料原子在衬底表面沉积并结晶。这种方法可以用于生长多种材料,包括硅、镓、锗等。 2. 液相外延:液相外延是一种基于溶液的生长方法,通过将溶液中的材料沉积在晶体衬底表面来实现生长。在生长过程中,...