与光学缺陷检测设备相比,虽然电子束检测设备在性能上占优,但因逐点扫描的 方式导致其检测速度太慢,不能满足晶圆厂对吞吐能力的需求,无法大规模替代 光学设备承担在线检测任务,目前主要用于先进工艺的开发,工作模式主要为抽 样检测。 当前市场上的主流供应商是 ASML(收购汉民微测科技)和应用材料。无图形晶圆缺...
与光学缺陷检测设备相比,虽然电子束检测设备在性能上占优,但因逐点扫描的 方式导致其检测速度太慢,不能满足晶圆厂对吞吐能力的需求,无法大规模替代 光学设备承担在线检测任务,目前主要用于先进工艺的开发,工作模式主要为抽 样检测。 当前市场上的主流供应商是 ASML(收购汉民微测科技)和应用材料。 无图形晶圆缺陷检测...
国内公司精测电子、睿励科学仪器、中科飞测、东方晶源、赛 腾股份等主要布局。 海外厂商主导国内市场,国产替代空间广阔。中国半导体检测与量测设备市场国 产化率低,海外龙头主导国内市场,科磊在国内市场份额超过 50%,且得益于中 国市场规模近年来高速增长,根据 VLSI,科磊在中国大陆市场 2016-2020 年 5 年 的营收 ...
与光学缺陷检测设备相比,虽然电子束检测设备在性能上占优,但因逐点扫描的 方式导致其检测速度太慢,不能满足晶圆厂对吞吐能力的需求,无法大规模替代 光学设备承担在线检测任务,目前主要用于先进工艺的开发,工作模式主要为抽 样检测。 当前市场上的主流供应商是 ASML(收购汉民微测科技)和应用材料。 无图形晶圆缺陷检测...