量/检测在半导体制造里是很重要的质量检查工艺。它会涉及膜厚、折射率、膜应力这些参数的测量,还有各类表面缺陷的检测等。对于硅片厂/晶圆厂来说,这对保障产品良率、保持产品一致性、降低成本等方面是非常关键的。量/检测设备按应用场景主要分成量测、检测这两大类,检测设备的占比能达到63%呢。1)检测设备:它...
精测电子专业从事显示、半导体及 新能源检测设备,其中前道量/检测设备主要依 托控股子公司上海精测开展,产品覆盖薄膜测 量系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷 检测系统等,2022Q1-Q3公司半导体检测设备 收入占比达到6%(含少量后道测试设备)。 从产业化进程来看,上海精测已在诸多环节实现国产 突破,其中膜厚产品...
受益于中国大陆晶圆厂逆周期扩产需求,我们预计2023年中国大陆量/检测设备市场规模将 达到326亿元,其中纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩模版缺陷检测设备、关键尺寸量测设备 、无图形晶圆缺陷检测设备市场规模将分别达到80、37、33、32亿元。 三、前道国产化率最低环节之一,国产替代将迎来最佳机遇 KLA全球市占率超50%,盈...