电子束光刻技术工艺 | 电子束光刻技术是一种先进的微纳电子器件制造技术,它利用电子束曝光半导体材料的光敏剂上,以实现微细图形的传递。这项技术通常应用于芯片制造,包括集成电路(IC)和其他微纳米电子器件。 电子束光刻工艺流程:首先,选择适合的基片,通常选择硅基片。基片经过清洁和涂覆光刻胶处理。其次,将电子束...