URE-2000/A12 紫外单面光刻机1、设备主要技术指标:(1) 曝光面积: 300mm×300mm;(2)分辨力:±2μm;(3)对准精度:±2μm;(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;(8)掩模相对...
URE-2000B型紫外单面光刻机的主要技术参数包括曝光面积、曝光波长、分辨力、对准精度、掩模样片整体运动范围、掩模尺寸和样片尺寸等。其中,曝光面积为100mmX100mm,曝光波长为365nm,分辨力为0.8um(胶厚2um的正胶),对准精度为±0.6um,掩模样片整体运动范围为X:15mm;Y:15mm,掩模尺寸...
型号: URE-2000/30D 产地:四川 成都 供应商报价:￥490000 深圳市蓝星宇电子科技有限公司更新时间:2025-01-08 09:11:12 销售范围售全国 入驻年限第7年 营业执照已审核 同类产品中国科学院(27件) 立即扫码咨询 联系方式:13538131258 联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
URE2000型光刻机操作指南URE-2000/25 一、开机。 1.打开光刻机电源、真空泵、压缩空气。使压缩空气气压力约0.4-0.5MPa,真空压力约0.05-0.08MPa。 注意:过大的气体压力可能会对设备造成损坏。 2.点亮“汞灯电源”按钮,接着点亮“汞灯出发”按钮,启辉汞灯。汞灯点燃10分钟之后稳定。按下“控制电源”按钮,控制...
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发货地 广东深圳 商品类型 机械设备 、 电子产品制造设备 、 电子元件成型设备 商品关键词 URE、 2000、 A12紫外单面光刻机、 紫外单面光刻机 商品图片 商品参数 品牌: 中科光电 是否进口: 否 加工定制: 是 自动手动: 自动 价格说明 价格:商品在平台的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发...
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URE-2000系列紫外单、双面深度紫外光刻机,是为适应国内、外微电子、微机械、微光学技术最新发展和市场的需求,坚持高起点,瞄准国际技术前沿和国内、外发展趋势而创新研发的系列成果之一,该系列产品在分辨力增强技术、掩模对准技术、均匀照明曝光技术、工件台技术,以及线条侧壁增陡技术等关键单元技术上不断取得新的突破,...
URE-2000/25 操作步骤—工作过程: 1.汞灯位置调节 汞灯位置调节 在换灯后或灯位置变动时会改变照明的均匀性和照明的光强,这时调 节三维灯座台,使汞灯球体位于椭球镜的第一焦点上,这时照明强度最大, 均匀性最好。 2.开机准备 (1).供给机器的电源配电插座应有 220 伏的供电能力,在总电源插头插 上后,机柜已通...
URE-2000S/A8 型自动双面紫外光刻机 价格 ￥6.67万 起订量 1台起批 货源所属商家已经过真实性核验 发货地 上海 上海 URE-2000 URE-2000S/A8 6.67万元 所属类目 机械设备;行业专用设备;电工机械 产品标签 光刻机;紫外光刻机;双面光刻机;双面紫外光刻机;自动光刻机 获取底价 查看电话 在...