产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机 主要技术指标: 曝光面积:100mm×100mm 分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶) 对准精度:±0.8μm 大胶厚:300μm(SU8胶) 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch 样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm); 照明均匀性:±4%(Ф100mm...
型号 URE-2000/30 URE-2000/30 型紫外单面光刻机1.技术特征。高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储。采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好。对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换。采...
URE-2000系列紫外单、双面深度紫外光刻机,是为适应国内、外微电子、微机械、微光学技术最新发展和市场的需求,坚持高起点,瞄准国际技术前沿和国内、外发展趋势而创新研发的系列成果之一,该系列产品在分辨力增强技术、掩模对准技术、均匀照明曝光技术、工件台技术,以及线条侧壁增陡技术等关键单元技术上不断取得新的突破,...
显微镜配置:双目双视场,物镜三对:4x, 10x, 20x(可置换),目镜三对:10x, 16x, 20x(可置换)。 URE-2000/17紫外掩膜式光刻机,你的半导体制造新伙伴!🌟 0 0 发表评论 发表 作者最近动态 wuli梓源在成长 2025-02-16 新车保养秘籍:高压清洗机轻松洗车刚提了...全文 wuli梓源在成长 2025-02-16 牙套矫正...
中科光电URE-2000/30D 型(定制)紫外光刻机品牌:中科院型号: URE-2000/30D产地:四川 成都供应商报价:￥490000深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2025-03-05 09:33:35 销售范围售全国 入驻年限第7年 营业执照已审核同类产品中国科学院(27件)立即扫码咨询联系方式:13538131258 联系我们时请说明在仪器网(www....
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URE-2000系列紫外深度光刻机技术先进、功能齐全、性能可靠、操作方便,尤其在深度光刻中具有特色,已推广应用120余台(套),并远销国外6台(套),开创了我国光刻机设备出口的先例,具有良好的应用前景。 21世纪的希望在哪里?争夺国际科技制高点的基础是什么?最主要的是:人才!一家上市公司有一个中科院院士就很牛B了吧,中...
URE-2000/25 操作步骤—工作过程: 1.汞灯位置调节 汞灯位置调节 在换灯后或灯位置变动时会改变照明的均匀性和照明的光强,这时调 节三维灯座台,使汞灯球体位于椭球镜的第一焦点上,这时照明强度最大, 均匀性最好。 2.开机准备 (1).供给机器的电源配电插座应有 220 伏的供电能力,在总电源插头插 上后,机柜已通...
URE-2000B型紫外单面光刻机介绍 04月16日 一、技术参数 URE-2000B型紫外单面光刻机的主要技术参数包括曝光面积、曝光波长、分辨力、对准精度、掩模样片整体运动范围、掩模尺寸和样片尺寸等。其中,曝光面积为100mmX100mm,曝光波长为365nm,分辨力为0.8um(胶厚2um的正胶),对准...
国产双面紫外光刻机URE-2000/A型, 产品名称:URE-2000/A型紫外光刻机 主要技术指标: 曝光面积:150mm×150mm 分辨力:0.8～1μm(胶厚1.5μm的正胶) 对准精度:±0.6μm 最大胶厚:500&m