类型 紫外单面光刻机 型号 URE-2000/A12 URE-2000/A12 紫外单面光刻机1、设备主要技术指标:(1) 曝光面积: 300mm×300mm;(2)分辨力:±2μm;(3)对准精度:±2μm;(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;(7)掩模...
URE-2000S/A 型紫外双面光刻机,曝光面积:6 英寸,对准精度:± 2μm (双面,片厚 0.8mm),± 0.8μm (单面) 详细介绍 URE-2000S/A 型紫外双面光刻机 主要技术参数 。曝光面积:6 英寸 。曝光波长:365nm: 20mW/cm,405nm:20-35mW/cm2 。分辨力:1μm ...
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URE-2000/30D型(定制)紫外光刻机 1.技术参数 曝光面积:4 英寸 曝光波长 1:365nm 或 405nm(可切换,更换滤光片), 曝光波长 2:248nm 曝光位置 1 和曝光位置 2 自动切换 分辨力:0.8-1m 掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(标准配置,其他尺寸可定做) 样片尺寸:直径 Φ10mm-- ...
URE-2000/35型紫外光刻机技术特点: 创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。免责声明:以上所展示的信息...
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URE-2000系列紫外单、双面深度紫外光刻机,是为适应国内、外微电子、微机械、微光学技术最新发展和市场的需求,坚持高起点,瞄准国际技术前沿和国内、外发展趋势而创新研发的系列成果之一,该系列产品在分辨力增强技术、掩模对准技术、均匀照明曝光技术、工件台技术,以及线条侧壁增陡技术等关键单元技术上不断取得新的突破,...
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URE-2000/35L 型紫外单面光刻机 主要技术参数: (1)曝光面积:100mm×100mm; (2)照明不均匀性: ≤3%( Ф100mm 范围); (3)分辨力:1.0 μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长) (4)对准精度:≤±0.8μm; (5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸; ...
发货地 广东深圳 商品类型 机械设备 、 电子产品制造设备 、 电子元件成型设备 商品关键词 URE、 2000、 A12紫外单面光刻机、 紫外单面光刻机 商品图片 商品参数 品牌: 中科光电 是否进口: 否 加工定制: 是 自动手动: 自动 价格说明 价格:商品在平台的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发...