型号 URE-2000/A12 URE-2000/A12 紫外单面光刻机1、设备主要技术指标:(1) 曝光面积: 300mm×300mm;(2)分辨力:±2μm;(3)对准精度:±2μm;(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm...
URE-2000/600 紫外单面光刻机 1、设备主要技术指标: (1)光束口径: 650mm×650mm (2)有效曝光面积:600mm×600mm (3)分辨力:≤3μm (4)对准精度:±1.5μm (5)对准显微镜中心距:75mm-600mm 可调 (6)掩模尺寸:650mm×650mm (7)样片尺寸:可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm;450mm×450...
URE-2000B 型紫外单面光刻机 1.技术参数 。曝光面积:100mmX100mm 。曝光波长:365nm 。分辨力:0.8μm(胶厚 2μm 的正胶) 。对准精度:± 0.6μm 。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm 。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸 。样片尺寸:直径 ± 15mm--± 100mm(各种不规则片) 厚度0.1mm-...
型号: URE-2000/30D 产地:四川 成都 供应商报价:￥490000 深圳市蓝星宇电子科技有限公司更新时间:2025-01-08 09:11:12 销售范围售全国 入驻年限第7年 营业执照已审核 同类产品中国科学院(27件) 立即扫码咨询 联系方式:13538131258 联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
URE-2000B型紫外单面光刻机介绍 04月16日 一、技术参数 URE-2000B型紫外单面光刻机的主要技术参数包括曝光面积、曝光波长、分辨力、对准精度、掩模样片整体运动范围、掩模尺寸和样片尺寸等。其中,曝光面积为100mmX100mm,曝光波长为365nm,分辨力为0.8um(胶厚2um的正胶),对准...
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品牌:中科院 型号: URE-2000/A12 产地:四川 成都 供应商报价:面议 深圳市蓝星宇电子科技有限公司更新时间:2025-02-22 11:05:00 销售范围售全国 入驻年限第7年 营业执照已审核 同类产品中国科学院(27件) 立即扫码咨询 联系方式:13538131258 联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
URE-2000/35L 型紫外单面光刻机 主要技术参数: (1)曝光面积:100mm×100mm; (2)照明不均匀性: ≤3%( Ф100mm 范围); (3)分辨力:1.0 μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长) (4)对准精度:≤±0.8μm; (5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸; ...
URE-2000系列紫外单面光刻机,主要型号有:URE-2000A,URE-2000B,URE-20000/35,URE-20000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17.由中国科学院制造生产。 详细内容 公司简介 URE-2000/A12 紫外单面光刻机 1、设备主要技术指标: (1) 曝光面积: 300mm×300mm; ...
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