产品型号:SME-200系列 产品厂商:ULVAC爱发科 产品价格:0 折扣价格:0 产品文档: 简单介绍: 溅射装置负载锁定型多室溅射设备 SME-200系列 详情介绍: 溅射装置负载锁定型 多室 溅射设备SME-200系列 它是一种多室型溅射装置,可配备多个处理室(*多 3 个室 200E、*多 5 个室 200J、*多 7 个室 200...
SME-200系列是可搭载多个工艺腔体(最大搭载3室的200E,最大5室的200J,及最大搭载7室的200)的multi-chamber式溅射设备。 购买咨询 若想了解更多请致电182-2185-4021 产品特性 / Product characteristics •可搬送φ200mm的基板 •工艺腔方面、拥有丰富多样的模块产品线: ...