Load-Lock Type Sputtering System 返回式真空溅射装置 CS-200z装置外观·功能CS-200zCS-200z外观-装置正面 CS-200z外观-腔体打开 是高真空交直流溅射设备.适用于金属、合金 、陶瓷材料的高品质溅射成膜.托盘方式:Ti材质托盘,任意形状wafer兼容.占地面积: 占地面积小,含操作维护空间1500×4500mm装置优势性能-1-省...
ULVAC CS-200系列磁控溅射台 ULVAC CS-200系列磁控溅射镀膜设备是一款追求低成本和用户友好操作的磁控溅射设备,通过增加配有机械手d装载固定腔室(Load lock chamber)使在上下基板时工艺腔室仍保持真空。 主要技术参数: 适用于小于8inch的各种基板; 配备最高300℃的基本加热装置,可选配最高600℃的基本加热装置; 可...
日本ULVAC 返回式真空溅射装置 CS-200z ¥ 1.00 /台 日本ULVAC返回式真空溅射装置CS,200z,真空溅射装置CS,200z 机械设备/电子产品制造设备/电子元件成型设备 立即拨号 现货供应ULVAC超小型离子溅射装置VPS-020 ¥ 210.00 /台 真空泵 五金机电/泵类/真空泵 立即拨号 ULVAC小型磁控溅射装置SCOTT-C3...
等离子密度与向基板入射的能量能够单独控制,因此Process window宽。 均一性好。 离子性蚀刻到radical性蚀刻都能都大幅度控制。 构造简单,维护 来自半导体技术研究所的工艺支持体制。 CS(Customer’s Support)解决方案的综合服务体制。 可选Cassette室,提高生产量。 丰富的Process Application: 1.ISM: Inductively Super...
最小采购量:不限 主营产品:检漏仪维修,真空泵维修,分子泵维修,爱德华真空泵,莱宝真空泵 供应商:苏州希文控制科技有限公司 更多优质供应商> 所在地:中国 江苏 苏州 联系人:苏晓峰 您的联系方式已覆盖全网,展示在其他同类产品页面 联系商家 点此询价 QQ咨询 ...
中国售后服务企业投资中国半导体业正蓬勃发展,世界瞩目.日本ULVAC公司十分重视IC china 2003有不少公司领导与会.他们表示,推动中国前进.ULVAC公司已在北京,上海,广州设有事务所,在上海,强售后服务.日本ULVAC公司在中国——加大投资力度 增强售后服doi:CNKI:SUN:DZCS.0.2003-09-019金中CNKI电子产品世界...
溅射设备:CS-200z在真空条件下,氩气在DC或RF作用下产生氩离子,高能的氩离子撞击靶材 产生溅射。溅射出的原子或分子离开靶材,沉积在基板表面,形成薄膜。成膜种类:金属,合金材料,SiO2,TaN,陶瓷等。成膜面积大,均匀性好,Load-lock,托盘式,多基板尺寸,2inch-8inch兼容。
ULVAC CS-200系列磁控溅射镀膜设备是一款追求低成本和用户友好操作的磁控溅射设备,通过增加配有机械手d装载固定腔室(Load lock chamber)使在上下基板时工艺腔室仍保持真空。 主要技术参数: ·适用于小于8inch的各种基板; ·配备最高300℃的基本加热装置,可选配最高600℃的基本加热装置; ...
型号:CS-200z原产地:日本更新时间:2025/1/15 8:58:34 产品摘要:返回式真空溅射装置 CS-200z,高真空交直流溅射设备.适用于金属、合金 、陶瓷材料的高品质溅射成膜. 产品完善度:访问次数:195 产品分类 光刻机&3D打印机 德国Nnaoscrib 德国Heidelberg ...
CS-200z外观-装置正面 CS-200z外观-腔体打开 是高真空交直流溅射设备.适用于金属、合金 、陶瓷材料的高品质溅射成膜. 托盘方式外观 托盘方式:Ti材质托盘,任意形状wafer兼容. 设备构成概览 装置基本配置: 装置优势性能-1-省空间 占地面积: 占地面积小,含操作维护空间1500×4500mm ...