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研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570,是搭载了爱发科独创的磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的装置,此NLD技术可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子。 产品特性 / Product characteristics • NLD用于与ICP方式相比更低压、高密度、更低电子温度等离子体的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工 ...
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ULVAC Technologies, Inc. has adopted the EU-RoHS Directives in response to rising environmental concerns regarding end of life disposalof electronic equipment and other hazardous substances. After reviewing these directives, we have determined that no elements of our Enviro, NE-550 or NLD-570 family...
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研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570,是搭载了爱发科磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的装置,此NLD技术可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子。 购买咨询 若想了解更多请致电182-2185-4021 产品特性 / Product characteristics • NLD用于与ICP方式相比更低压、高密度、更低电子温度等离子体的石英...