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适合量产的NE-5700/NE-7800干法刻蚀设备是一款可扩展的刻蚀设备,支持从一个腔室到多个腔室,强调性价比。 特征 除1个腔体外,还可配备磁场ICP(ISM)、NLD等离子体源、灰化腔体、CCP腔体,兼容多种刻蚀工艺。 配备星形电极和各种温度控制功能,可实现过程的再现性和稳定性。 易于维护的结构,停机时间最短,全面的备份系...
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