根据扫描的方式, EDS 可分为点分析、线扫描及面扫描三种:EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。该方法准确性较高,用于显微结构的成分分析。定量分析样品中含量较低的元素时,常用点分析的方法。图 2 所示为陶瓷样品的 EDS 点分析结果。 图2. 陶瓷样品的 EDS 点分析结果EDS 线...