在电子显微镜中,电子束照射在观察区域上,形成水滴形的相互作用区域,如图1 所示。从该区域中会逸出多种信号,如观察表面形貌的二次电子(SE)、区分成分衬度的背散射电子(BSE)和分析成分的X射线。电子显微镜会配置不同的探测器来接收这些信号进行成像。能谱仪(EDS, Energγ Dispersive Spectrometer)以X射线为信号源分析...
电镜测试中常用的元素分析方法:EDS、EELS、HAADF-STEM, 视频播放量 3256、弹幕量 1、点赞数 47、投硬币枚数 9、收藏人数 103、转发人数 10, 视频作者 电化学与电催化, 作者简介 王老师,中科院博士,华算科技全职电化学专家,本硕博15篇SCI,12年电化学科研经验!QQ群:831
相比 EDS分析, EELS 的记谱时间更短, 特别是用于小束斑分析薄样品时;另外, EDS 在探测轻元素( Z<11)时只有 1%的信号能接收到,且谱线重叠比较严重,而 EELS 的能量分辨率( 1eV)远高于 EDS( 130eV),因此, EELS 在探测轻元素方面更有优势;而且,除了对样品进行定性和定量的成分分析外, EELS 的精细结构...
1)定性分析:EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性分析是分析未知样品的第一步,即鉴别所含的元素。如果不能正确地鉴别元素的种类,最后定量分析的精度就毫无意义。通常能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分。定性分析又分为自动定性分析和手动定性分析,其中自动定性分析是根据能量位置来确定峰位,直接单击“Peak ID...
X 射线能谱( Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS)是微区成分分析最为常用的一种方法,其物理基础是基于样品的特征 X 射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时,会在内层电子处产生一个空缺,原子处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而释放出具有一定能量的特征 X...
根据扫描的方式, EDS 可分为点分析、线扫描及面扫描三种:EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。该方法准确性较高,用于显微结构的成分分析。定量分析样品中含量较低的元素时,常用点分析的方法。图 2 所示为陶瓷样品的 EDS 点分析结果。 图2. 陶瓷样品的 EDS 点分析结果EDS 线...
1 X 射线能谱X 射线能谱( Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS)是微区成分分析最为常用的一种方法,其物理基础是基于样品的特征 X 射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时,会在内层电子处产生一个空缺,原子处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而释放出具有一定...