能谱仪(EDS, Energγ Dispersive Spectrometer)以X射线为信号源分析微区成分分布。图1也显示,这几种信号源的深度不同,SE最浅,BSE次之,X射线最深。不同信号源的逸出深度可以解释同样条件下SE、BSE和EDS成像的空间分辨率差异。
根据扫描的方式, EDS 可分为点分析、线扫描及面扫描三种:EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。该方法准确性较高,用于显微结构的成分分析。定量分析样品中含量较低的元素时,常用点分析的方法。图 2 所示为陶瓷样品的 EDS 点分析结果。 图2. 陶瓷样品的 EDS 点分析结果EDS 线...
1)定性分析:EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性分析是分析未知样品的第一步,即鉴别所含的元素。如果不能正确地鉴别元素的种类,最后定量分析的精度就毫无意义。通常能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分。定性分析又分为自动定性分析和手动定性分析,其中自动定性分析是根据能量位置来确定峰位,直接单击“Peak ID...
研究点推荐 STEM-EDS X射線分析 0关于我们 百度学术集成海量学术资源,融合人工智能、深度学习、大数据分析等技术,为科研工作者提供全面快捷的学术服务。在这里我们保持学习的态度,不忘初心,砥砺前行。了解更多>> 友情链接 联系我们 合作与服务 期刊合作 图书馆合作 下载产品手册意见反馈...
1 X 射线能谱X 射线能谱( Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS)是微区成分分析最为常用的一种方法,其物理基础是基于样品的特征 X 射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时,会在内层电子处产生一个空缺,原子处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而释放出具有一定...
EDS点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。该方法准确性较高，用于显微结构的成分分析。图2展示了陶瓷样品的EDS点分析结果。EDS线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描，能得到元素含量变化的线分布曲线。结合样品形貌像对照分析，能直观获得元素在不同区域的分布情况。图3...
X 射线能谱( Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS)是微区成分分析最为常用的一种方法,其物理基础是基于样品的特征 X 射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时,会在内层电子处产生一个空缺,原子处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而释放出具有一定能量的特征 X...
X 射线能谱( Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS)是微区成分分析最为常用的一种方法,其物理基础是基于样品的特征 X 射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时,会在内层电子处产生一个空缺,原子处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而释放出具有一定能量的特征 X...