2月25日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与国外合作团队在《自然》（Nature）上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》的研究论文，报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（SSMB）的首个原理验证实验。基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。实验中，研究团队利用波长1064纳...
根据论文报告基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，这个光源脉冲稳定光束比较小，并具备向更短波长扩展...
该论文报告了一种新型粒子加速器光源，“稳态微聚束”（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。SSMB光源技术具有功率高、重频高、带宽窄、稳定性好等特质，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段，未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。大功率EUV光源是EUV光刻机的核心，光刻机巨头AS...
近日,来自清华大学的科研团队发表了一份基于SSMB的EUV光源技术研究成果,该项技术将有助于解决目前我国自研光刻机中最核心的"卡脖子"难题。 据清华大学官网发布的消息,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB),以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队在《自然》科学杂志(Natur...
用同步辐射EUV光源进行芯片加工，其实不是新鲜事。最早的时候，研究者就是用同步辐射加速器的EUV光源进行芯片工艺研究的，现在也一直都有，经常有论文。如保罗谢勒研究所，长期用瑞士的同步辐射加速器探索EUV光刻的新技术，在学术界，EUV光源也称之为软X光。但是这类研究的特点是不讲究“量产”，也不需要省时间，...
ASML坐不住了，清华大学发布SSMB研究论文，纯国产芯片迎来曙光 业内习惯将ASML生产的光刻机称为EUV光刻机，主要原因是其采用了EUV光源，而清华大学的此项研究中，SSMB光源将极有可能称为未来EUV光刻机的光源。光源对于光刻机而言，至关重要，也是光刻机的核心技术之一，清华大学的这项研究，有助于推进国产光刻机...
第一个热点话题,清华大学的SSMB-EUV可不可以作为EUV光刻机的光源?理论上来说是完全没问题的。清华大学唐传祥教授在《稳态微聚束加速器光源》这篇论文当中已经比较详细地阐述了SSMB的原理、实验验证、核心问题及挑战还有SSMB在芯片光刻当中的应用潜力。并且与LPP、SR(同步辐射光源)、SRF-FEL(基于射频超导直线加速器的...
还需要注意的是,从2017年开始,到2021年发表论文,清华国际研究团队一直是在德国联邦物理技术研究院位于柏林的计量光源MLS储存环上做实验;论文作者有13位,7位是国际合作者。 4、2021年2月25日,《每日经济新闻》发了一篇热情洋溢、标题巨长的报道:《破解“卡脖子”难题!清华团队新成果在《自然》发表:有望为EUV光刻...
自由电子激光是利用高能电子束通过一系列磁铁产生同步辐射，从而产生极紫外线，这种技术目前只有ASML的EUV光刻机采用。SSMB光源技术其实也是一种自由电子激光技术，但它有一个独特的特点：它可以产生稳定而连续的极紫外线。这是因为SSMB光源技术利用了一种新型的粒子加速器——能量回收直线加速器（Energy Recovery Linac, ...
另外,SSMB-EUV光源并不是现在才有的,早在2021年年初,相关的论文就发表在了世界顶级学术期刊《自然》上。 并且根据今年年初官方的消息,SSMB-EUV光源落户雄安。 其实早期的极紫外光也是靠大型电子加速器获取的,但是为了将EUV光刻机商品化,所以对EUV光源进行了小型化改造,所以其技术难度也很高。