SEMI F57-0301清楚地阐述了改善组件纯度的要求,并朝此趋势发展。含氟聚合物材料的供应商如Dupont, Dyneon,和其他厂家,都在不断地改善应用在液体分配系统组件原材料的纯度,例如,将 451HP更改为 950HP材料,可是这个方法是有限的,进一步提高要靠组件的设计和生产公司来完成。SEMI F57- 0301这个标准在2000年10月18日...
预览SEMI F57-0301-2000前三页 标准号 SEMI F57-0301-2000 发布 2000年总页数 11页发布单位 国际半导体协会当前最新SEMI F57-0301-2000 购买 正式版其他标准SEMI E49-1104 (Reapproved 1211)-2011 高纯度和超高纯度管道性能、子组件和最终组件指南 SEMI F57-0301-2000相似标准...
EMI⑩F57一O30 基于S 1标准下, 新一代化学品输送过程中,阀门管接件 及其材料的选择、设计、生产和测试 M.Hanson,RonnieA.Browne, James 0SwageiokC0mpanyl 摘要:本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的 F57-0301为标准,对更加苛 选择、设计、生产和测试的问题。针对...
基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试,基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试,基于SEMI
SEMI F57-0301 © SEMI 2000, 2001 1SEMI F57-0301PROVISIONAL SPECIFICATION FOR POLYMER COMPONENTS USEDIN ULTRAPURE WATER AND LIQUID CHEMICAL DISTRIBUTIONSYSTEMSThis specification was technically approved by the Global Facilities Committee and is the directresponsibility of the North American Facilities Commit...
内容提示: SEMI F57-0301 © SEMI 2000, 2001 1SEMI F57-0301PROVISIONAL SPECIFICATION FOR POLYMER COMPONENTS USEDIN ULTRAPURE WATER AND LIQUID CHEMICAL DISTRIBUTIONSYSTEMSThis specification was technically approved by the Global Facilities Committee and is the directresponsibility of the North American ...
管接件一代材料本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择,设计,生产和测试的问题.针对半导体工业发展的需求,以SEMIF57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述.所阐述方法和理论同样适用于流量计,过滤器,调节阀等组件.JamesM.HansonRonnieA.Browne半导体技术...
目前可查阅全文的资料多以SEMI F57-0301为主。从0301到0314,主导思路和结构没有变化(其中 列明限值的金属元素数量,从16种增加到了29种,增加项为:锑、砷、铋、镉、镓、锗、汞、钼、银、锡、钛、钨、钒)。然而,这个唯一可参考的标准,受限于检测方法的可操作性,和末端标准之间,存在着“代沟”,如同两种语言之...
本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择,设计,生产和测试的问题.针对半导体工业发展的需求,以SEMI F57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述.所阐述方法和理论同样适用于流量计,过滤器,调节阀等组件. 关键词: SEMI;输送过程;阀门;标准;设计;测试;化学品...
SEMI F57-0301 PROVISIONAL SPECIFICATION FOR POLYMER COMPONENTS USED IN ULTRAPURE WATER AND LIQUID CHEMICAL DISTRIBUTION SYSTEMS This specification was technically approved by the Global Facilities Committee and is the direct responsibility of the North American Facilities Committee. Current edition approved by...