集成电路应用APP.ie刁tionsofIC基于SEMI⑧F57一0301标准的组翰料选择珊生产和测试JamesM.’HansonRonnieA.BrowneSantaClara译者:杨瑞丽1SwagelokConlpanySwagelok半导体服务公司3ealifornia概要:本文阐述了应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统上的含氟聚合物阀
EMI⑩F57一O30 基于S 1标准下, 新一代化学品输送过程中,阀门管接件 及其材料的选择、设计、生产和测试 M.Hanson,RonnieA.Browne, James 0SwageiokC0mpanyl 摘要:本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的 F57-0301为标准,对更加苛 选择、设计、生产和测试的问题。针对...
基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试 文档格式: .pdf 文档大小: 199.78K 文档页数: 6页 顶/踩数: 0/0 收藏人数: 3 评论次数: 0 文档热度: 文档分类: 论文--期刊/会议论文 文档标签: 基于SEMI 基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试,基于SEMI F57-0301标准的...
SEMI F57-0301-2000 超纯水和液体化学品分配系统中使用的聚合物组件的临时规范 PROVISIONAL SPECIFICATION FOR POLYMER COMPONENTS USED IN ULTRAPURE WATER AND LIQUID CHEMICAL DISTRIBUTION SYSTEMS 点击打开全屏PDF预览 点击查看大图 标准号 SEMI F57-0301-2000 ...
SEMI F57-0301 © SEMI 2000, 2001 1SEMI F57-0301PROVISIONAL SPECIFICATION FOR POLYMER COMPONENTS USEDIN ULTRAPURE WATER AND LIQUID CHEMICAL DISTRIBUTIONSYSTEMSThis specification was technically approved by the Global Facilities Committee and is the directresponsibility of the North American Facilities Commit...
内容提示: SEMI F57-0301 © SEMI 2000, 2001 1SEMI F57-0301PROVISIONAL SPECIFICATION FOR POLYMER COMPONENTS USEDIN ULTRAPURE WATER AND LIQUID CHEMICAL DISTRIBUTIONSYSTEMSThis specification was technically approved by the Global Facilities Committee and is the directresponsibility of the North American ...
概要:本文阐述了应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统上的含氟聚合物阀门,包括它的材料的选择,设计,生产和测试等问题.并针对半导体工业发 展的需求,以SEMI F57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述.尽管此文章是集中在新一代先进的含氟聚合物阀门发展的阐述上,但是此方法和结论同样适用 于流...
基于SEMI(R)F57-0301 标准的流体组件材料选择、设计、 生产和测试 James M.;Hanson,Ronnie A.;Browne,Santa Clara;杨瑞丽 【期刊名称】《集成电路应用》 【年(卷),期】2004(000)011 【摘要】本文阐述了应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统上的含 氟聚合物阀门,包括它的材料的选择、设计、...
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J Batlle,J Mart?&Amp,#x0301,... - Real-Time Imaging 被引量: 247发表: 2002年 The Erlangen slot machine: increasing flexibility in FPGA-based reconfigurable platforms Computer scienceWe present a new concept as well as the implementation of an FPGA based reconfigurable platform, the Erlangen sl...