2015-11-04上传 基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试 文档格式: .pdf 文档大小: 199.78K 文档页数: 6页 顶/踩数: 0/0 收藏人数: 3 评论次数: 0 文档热度: 文档分类: 论文--期刊/会议论文 文档标签: 基于SEMI 基于SEMI F57-0301标准的流体组件材料选择、设计、生产和测试,基于SEMI...
对当今重要情况的总结如下:基于 SEMI F57-0301标准下,新一代化学品输送过程中,阀门管接件及其材料的选择、设计、生产和测试James M. Hanson, Ronnie A. Browne,(Swagelok Company)摘要:本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择、设计、生产和测试的问题。针对...
行业超高纯水系统和液体化学分配系统上的含氟聚合物阀门,包括它的材料的选择,设计,生产和测试等问题.并针对半导体工业发展的需求,以SEMI F57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述.尽管此文章是集中在新一代先进的含氟聚合物阀门发展的阐述上,但是此方法和结论同样适用于流量计,过滤器,调节阀等组件....
EMI⑩F57一O30 基于S 1标准下, 新一代化学品输送过程中,阀门管接件 及其材料的选择、设计、生产和测试 M.Hanson,RonnieA.Browne, James 0SwageiokC0mpanyl 摘要:本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的 F57-0301为标准,对更加苛 选择、设计、生产和测试的问题。针对...
基于SEMI(R)F57-0301标准的流体组件材料选择,设计,生产和测试 概要:本文阐述了应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统上的含氟聚合物阀门,包括它的材料的选择,设计,生产和测试等问题.并针对半导体工业发 展的需求,以SEMI... James M.,Hanson,Ronnie A.,... - 《集成电路应用》 被引量: 0发表: 2004...
括它的材料的选择,设计,生产和测试等问题.并针 对半导体工业发展的需求,以SEMIF57—0301为标 准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述.尽管 此文章是集中在新一代先进的含氟聚合物阀门发展 的阐述上,但是此方法和结论同样适用于流量计,过 滤器,调节阀等组件. ...
管接件一代材料本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择,设计,生产和测试的问题.针对半导体工业发展的需求,以SEMIF57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述.所阐述方法和理论同样适用于流量计,过滤器,调节阀等组件.JamesM.HansonRonnieA.Browne半导体技术...
材料本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择,设计,生产和测试的问题.针对半导体工业发展的需求,以SEMI F57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述.所阐述方法和理论同样适用于流量计,过滤器,调节阀等组件.doi:10.1007/BF02873109JamesM.Hanson RonnieA....
本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择、设计、生产和测试的问题。针对半导体工业发展的需求,以SEMI F57-0301为标准,对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述。所阐述方法和理论同样适用于流量计,过滤器,调节阀等组件。JamesM.Hanson RonnieA.BrowneSwagelok Company半导体...
基于SEMI F57-0301标准下,新一代化学品输送过程中,阀门管接件及其材料的选择、设计、生产和测试 文档格式: .pdf 文档大小: 199.48K 文档页数: 5页 顶/踩数: 0/0 收藏人数: 0 评论次数: 0 文档热度: 文档分类: 论文--期刊/会议论文 文档标签: ...