GaN/蓝宝石截面样品的 EBSD 扫描区域的 IQ 图与二次电子像的重叠图像 (3)相鉴定 结合EDS的成分分析，可以进行未知相的鉴定。此外EBSD可以区分化学成分相似的相，如钢中的铁素体和奥氏体。铁素体相的取向分布 (4)晶粒尺寸的测量 EBSD方法是测量晶粒尺寸的理想工具，最简单的方法是进行横穿样品的线扫描，同时观察...
原位电子背散射衍射（EBSD）技术是一种强大的显微结构分析工具，广泛应用于材料科学、地质学和生物学等领...
在钠电池正极材料裂纹物相分析中，SEM搭载EBSD技术具有显著优势。而EBSD技术则是对SEM的补充和延伸，它能够在SEM观察的同时，获取材料表面每个点的晶体结构信息。通过收集背散射电子的衍射花样，EBSD可以快速地绘制出样品的晶体取向图、相分布图以及晶界图等，从而揭示材料的晶体结构和相变过程。一方面，SEM能够直观地观察...
样品需要同时适合离子束切削和EBSD数据采集,这通常通过自动切换样品位置或保持样品固定不动来实现。通过不断重复采集EBSD数据和暴露新的表面,可以在分析区域内建立一个包含三维微观组织信息的显示图。 3D-EBSD中FIB-SEM和 EBSD的几何位置关系的示意图 数据采集与分析 为了获得良好的分辨率,需要采集大量的切片数据。例如,...
在钠电池正极材料裂纹物相分析中,SEM搭载EBSD技术具有显著优势。而EBSD技术则是对SEM的补充和延伸,它能够在SEM观察的同时,获取材料表面每个点的晶体结构信息。通过收集背散射电子的衍射花样,EBSD可以快速地绘制出样品的晶体取向图、相分布图以及晶界图等,从而揭示材料的晶体结构和相变过程。一方面,SEM能够直观地观察到裂纹...
在材料科学领域,对材料的微观结构进行精确分析是至关重要的。传统的电子背散射衍射(EBSD)技术主要提供样品表面的晶体学信息,但对于三维物体的内部结构,这些信息就显得不够全面。为了深入研究晶粒组织、晶粒尺寸和界面等三维特征,科学家们发展了一种新的技术——三维电子背散射衍射(3D-EBSD)。
(1)取向测量及取向关系分析 EBSD最直接的应用就是通过测量晶粒取向,获得不同晶粒或不同相间的取向差,测量各种取向晶粒在样品中所占比例,分析单晶的位相和完整性等。例如,EBSD测试的2μm宽Al互连线和Cu互连线的晶粒取向图和晶粒尺寸统计数据。 2μm宽Al互连线和Cu互连线的晶粒分布图:(a)、(b)、(c)、(d)分...
ebsd和sem区别..EBSD(电子背散射衍射)和SEM(扫描电子显微镜)在材料科学领域都是非常重要的分析工具,但它们在功能和用途上存在显著的差异。EBSD是一种在扫描电子显微镜中使用的技术,它通过分析背散射电子的衍射花样
基于菊池图进行SEM/ECCI分析，电镜配备了一个特殊的三轴压电倾斜台，可以精确控制入射电子束与晶面的方向。ECCI图像是使用标准的位于极靴下方的半导体BSE探测器获得，工作距离为4毫米，光阑为30微米，加速电压为15-30千伏。EBSD的检测电压为25kV。此外，使用双束制备的TEM薄膜样品在透射电镜下以300kV观察.然后，用SEM/...
常规的EBSD显示的是样品的表面信息。然而,我们时常需要从三维物体中得到同样类型的信息,从而研究晶粒组织、晶粒尺寸和界面。 根据感兴趣物体的尺寸,通常有几种方法可以实现:对于大尺度区域的特征可以用机械切片技术在样品不同深度处暴露新的表面进行分析。对于小尺度区域的特征,将样品从扫描电镜的样品仓取出,然后重新定位...