EBSD最直接的应用就是通过测量晶粒取向，获得不同晶粒或不同相间的取向差，测量各种取向晶粒在样品中所占比例，分析单晶的位相和完整性等。例如，EBSD测试的2μm宽Al互连线和Cu互连线的晶粒取向图和晶粒尺寸统计数据。2μm宽Al互连线和Cu互连线的晶粒分布图：(a)、(b)、(c)、(d)分别是沉积态、250℃、300℃...
hery EBSD检测原理 020 12-200 1-103] fitt axis 晶界取向差 SEM chamber Primary (70*tted) Sample phosphor screen CCD camera image processing Framegrabber Computer (grain boundary misorientations),物相等晶体学信息。 SE image beam electron EBSO pattern titaxis -102) [00 如下图所示 110-121 12-20...
EBSD工作原理:在扫描电子显微镜(SEM)中,入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应,其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”,这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。衍射花样包含晶系(立方、六方等)对称性的信息,而且,晶面和晶带轴...
一、原位EBSD技术的基本原理 原位EBSD技术基于扫描电子显微镜（SEM）平台上安装的EBSD探测器。当样品表面被...
02电子背散射衍射（EBSD）基本原理 当入射电子束进入样品后，会有部分电子因散射角大而从样品表面逸出，...
测试原理 在扫描电子显微镜(SEM)上搭载EBSD探测器,电子束照射在倾斜的样品上，背散射电子发生衍射,出射形成的衍射电子投影到EBSD探测器的磷屏上，形成衍射花样,如下图所示。采集软件解析衍射花样,标定相和取向。设定采集区域，采集软件逐个像素点地采集选定区域的衍射花样,获取采集区域的相和取向数据。之后，后处理软件就...
测试原理 在扫描电子显微镜(SEM)中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成"衍射花样"，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。衍射花样包含晶系(立方、六方等)对称性的信息，而且，晶面和晶带轴间...
工作原理 离子束切割仪的离子束加工是真空条件下完成的,在真空环境中,惰性气体在电场作用下发生电离,通过电场对离子态的粒子进行加速,形成高速离子束流。高速离子束流轰击在待处理的样品表面,对材料进行轰击,从而实现近乎无应力研磨的效...
SEM(EDS,EBSD SEM(EDS,EBSD)2006-11-30 1 ScanningElectronMicroscopy(FEISIRIONFEGSEM)2006-11-30 2 电子显微镜 •定义 用聚的很细的电子束照射被检测的试样表面，由于电子束与样品的相互作用，产生各种电子或X射线、光子等信息，然后将这些信息通过不同方式的收集与处理，显示出试样的各种特性（形貌、微结构、...