EBSD最直接的应用就是通过测量晶粒取向，获得不同晶粒或不同相间的取向差，测量各种取向晶粒在样品中所占比例，分析单晶的位相和完整性等。例如，EBSD测试的2μm宽Al互连线和Cu互连线的晶粒取向图和晶粒尺寸统计数据。2μm宽Al互连线和Cu互连线的晶粒分布图：(a)、(b)、(c)、(d)分别是沉积态、250℃、300℃...
采用排除法确定该晶粒的晶体结构，并得出晶粒与膜面法向的取向关系。
原子层面晶体结构的的应力变化会诱发生成微细裂纹,同时会导致容量衰减、循环性能和热稳定性降低。 测试原理 在扫描电子显微镜(SEM)上搭载EBSD探测器,电子束照射在倾斜的样品上,背散射电子发生衍射,出射形成的衍射电子投影到EBSD探测器的磷屏上,形成衍射花样,如下图所示。采集软件解析衍射花样,标定相和取向。设定采集区域...
在材料科学领域,对材料的微观结构进行精确分析是至关重要的。传统的电子背散射衍射(EBSD)技术主要提供样品表面的晶体学信息,但对于三维物体的内部结构,这些信息就显得不够全面。为了深入研究晶粒组织、晶粒尺寸和界面等三维特征,科学家们发展了一种新的技术——三维电子背散射衍射(3D-EBSD)。 从二维到三维的跨越 对于...
测试原理 在扫描电子显微镜(SEM)中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成"衍射花样"，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。衍射花样包含晶系(立方、六方等)对称性的信息，而且，晶面和晶带轴间...
SEM(EDS,EBSD SEM(EDS,EBSD)2006-11-30 1 ScanningElectronMicroscopy(FEISIRIONFEGSEM)2006-11-30 2 电子显微镜 •定义 用聚的很细的电子束照射被检测的试样表面，由于电子束与样品的相互作用，产生各种电子或X射线、光子等信息，然后将这些信息通过不同方式的收集与处理，显示出试样的各种特性（形貌、微结构、...
发表论文420余篇,获发明专利4项,获省部级科研成果一等奖、三等奖各1项,编著《电子背散射衍射技术及其应用》、《材料织构分析原理与检测技术》、《电工钢的材料学原理》等。获北京市教学成果一等奖1项和二等奖2项。 报告题目:《EBSD技术应用交流》 施奇伟 博士...
电子背散射衍射EBSD的基本原理 #EBSD #扫描电镜 #sem扫描电镜 #科研 #生化环材 - e测试-琳琳师姐于20240628发布在抖音,已经收获了32.0万个喜欢,来抖音,记录美好生活!
AES 和 XPS 都属于电子能谱分析技术,基本原理是用单色射线照射样品,使样品中形成的 电子受激发射,然后测量这些电子的能量分布。 EDS 是扫描电镜的一个重要条件,利用其可比对试样进行元素定性,半定量和定量分析。 其特点是探测效率高,可同时分析出各种元素。 6. 何谓化学位移?请举例说明化学位移在固体表面元素分析...