扫描电子显微镜主要通过探测二次电子和背散射电子来分析样品的形貌信息和成分信息,也可以连接能谱仪通过采集X射线对样品进行成分分析。 二次电子是被入射电子束轰击出来并离开样品表面的核外电子,主要来自样品表面1~10nm深度范围,能量较低(0~50eV,平均30eV),所以二次电子像能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射...
SEM是利用聚焦电子束在样品上扫描时激发的某种物理信号来调制一个同步扫描的显象管在相应位置的亮度而成...
其原理是利用电子束与样品表面交互所产生的各种信号(如二次电子、反射电子、散射电子、背散射电子等)作为样品表面形貌信息的载体,经过放大和成像后形成对样品表面形貌的图像。 具体来说,SEM的主要原理包括: 1.高能电子束的产生 SEM使用的电子束通常由热阴极或场发射型阴极产生。电子从阴极中发射出来后,经过加速管...
光学显微镜的分辨率受到波长的限制,因此其分辨本领约为200nm。随后,为了突破这一限制,科学家利用波粒二象性原理,即电子在加速电压下运动,其波长可达可见光波长的十万分之一,发展出了扫描电子显微镜(SEM)。1. 基本原理 扫描电镜是通过用电子束在样品表面上进行光栅状扫描的方法,通过探测电子与样品相互作用产生的...
扫描电子显微镜(SEM)是一种利用电子束扫描样品表面,通过检测产生的信号来获取样品表面形貌和成分等信息的高分辨率显微镜。本文将对SEM的基本原理、优势、应用领域以及操作时的注意事项进行详细解读。 1. SEM技术概述 SEM通过电子束与样品相互作用产生的信号,如二次电子和背散射电子,来构建样品表面的图像。这种显微镜能够...
sem扫描电子显微镜是一种利用细聚焦的电子束扫描样品表面,并通过检测从样品中激发出的二次电子、背散射电子等信号来获取样品表面形貌和组成的高分辨率成像设备。 sem扫描电子显微镜的工作原理可以概括为以下几个步骤: 1、电子枪发射电子:使用一个电子枪来产生一束高速电子。这些电子通过高压加速,通常在几千到几十千伏之...
扫描电子显微镜(SEM)是进行材料分析的一种大型的电子显微镜成像系统,其工作原理是利用阴极发射的电子束经阳极加速,磁透镜聚焦后,轰击到样品表面,激发出多种物理信息,经过收集放大在显示屏上得到相应的图形。 细聚焦高能电子束轰击样品表面时,被激发的区域可以产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线、透射电子,...
扫描电子显微镜(SEM)是一种功能强大、应用广泛的材料表征工具。其结构复杂且精密,主要包括电子光学系统、信号收集处理系统、图像显示和记录系统、真空系统以及电源和控制系统等。以下是蔡司扫描电子显微镜的基本结构和工作原理的详细描述:一、电镜结构:电子光学系统: