扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope,简称FIB-SEM)双束系统是指同时具备聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)功能的系统。通过与相应气体沉积装置和纳米操纵仪以及各类探测器和可控样品台及其他配件相结合,使其成为集微区成像,处理和分析于一体、操纵为一体的分析仪器在物理,化学,生物,新材料...
解析 答:扫描电子显微镜(SEM)通过聚焦的高能电子束扫描样品,样品与电子束相互作用会产生二次电子、背散射电子等信号。这些信号被探测器接收并转换为图像,从而得到样品表面的微观形貌。SEM在材料表征中主要应用于观察材料的微观结构、断口分析、表面缺陷分析等。
样品台旋转至52度时，离子束与样品台垂直，便于加工，电子束与样品台呈一定角度，用于观测截面内部结构。FIB-SEM工作原理涉及液态镓（Ga）离子源的使用，Ga加热后向下流至钨针尖端，形成尖端半径约为2 nm的锥形体。Ga离子在针尖处因电场力作用电离并发射出来，通过静电透镜聚焦在样品上并进行扫描，与样品...