扫描电镜(SEM)是利用电子束扫描样品表面,产生二次电子等信号,通过检测这些信号来获取样品表面形貌、成分等信息。 SEM的优点是分辨率高,可观察到纳米级别的细节,景深大,能清晰呈现三维形貌,可同时进行成分分析。 1. SEM技术简介 从本质上讲,SEM "观察"样品表面的方式可以比作一个人独自在暗室中使用手电筒(窄光束)扫...
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扫描电镜(SEM)是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法,它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成,形态和结构。 入射电子作用于样品会激发多种信息,如二次电子,背散射电子,吸收电子,俄歇电子,阴极荧光,特征X射线(见图1)等等。 扫描电镜(SEM)主要是通过二次电子,背...
扫描电镜（SEM）是利用电子束扫描样品表面，产生二次电子等信号，通过检测这些信号来获取样品表面形貌、成分等信息。SEM的优点是分辨率高，可观察到纳米级别的细节，景深大，能清晰呈现三维形貌，可同时进行成分分析。1. SEM技术简介 从本质上讲，SEM "观察"样品表面的方式可以比作一个人独自在暗室中使用手电筒（窄...
SEM的结构在许多方面都类似于光镜,这两种显微镜都有照明光源(灯泡与电子光源)、聚光透镜(玻璃透镜与电磁透镜)、探测器(眼睛与电子探测器)。在讨论SEM时,经常会将这些特征进行比较。 图6 光镜和SEM结构类比 SEM使用电子枪产生的高能电子束,经磁透镜处理后聚焦于试样表面,并在试样...
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扫描电镜(SEM)中的电子通道效应是一种与晶体取向密切相关的现象，通过背散射电子(BSE)可以获得样品的晶体学信息。自Coates首次报道以来，这一技术在材料科学领域得到广泛应用，特别是在晶格缺陷观察方面。电子通道衬度成像(ECCI)技术的发展使研究人员能够观察块体样品中的晶格缺陷。通过与透射电镜(TEM)对比研究，多个研究...