扫描电子显微镜主要通过探测二次电子和背散射电子来分析样品的形貌信息和成分信息,也可以连接能谱仪通过采集X射线对样品进行成分分析。 二次电子是被入射电子束轰击出来并离开样品表面的核外电子,主要来自样品表面1~10nm深度范围,能量较低(0~50eV,平均30eV),所以二次电子像能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射...
01 S E M 仪器原理 No. 1 SEM的工作原理扫描电镜是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。 通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、...
光学显微镜的分辨率受到波长的限制，因此其分辨本领约为200nm。随后，为了突破这一限制，科学家利用波粒二象性原理，即电子在加速电压下运动，其波长可达可见光波长的十万分之一，发展出了扫描电子显微镜（SEM）。1. 基本原理 扫描电镜是通过用电子束在样品表面上进行光栅状扫描的方法，通过探测电子与样品相互作用产生的...
具体来说,SEM的主要原理包括: 1.高能电子束的产生 SEM使用的电子束通常由热阴极或场发射型阴极产生。电子从阴极中发射出来后,经过加速管加速到几千伏至数十万伏的高能电子束。 2.电子束的聚焦 SEM使用电磁聚焦系统将电子束聚焦到非常小的点上,从而实现高分辨率成像。聚焦系统通常由多组圆柱形或双凸透镜组成。 3...
扫描电子显微镜(SEM)是一种利用电子束扫描样品表面,通过检测产生的信号来获取样品表面形貌和成分等信息的高分辨率显微镜。本文将对SEM的基本原理、优势、应用领域以及操作时的注意事项进行详细解读。 1. SEM技术概述 SEM通过电子束与样品相互作用产生的信号,如二次电子和背散射电子,来构建样品表面的图像。这种显微镜能够...
sem扫描电子显微镜是一种利用细聚焦的电子束扫描样品表面,并通过检测从样品中激发出的二次电子、背散射电子等信号来获取样品表面形貌和组成的高分辨率成像设备。 sem扫描电子显微镜的工作原理可以概括为以下几个步骤: 1、电子枪发射电子:使用一个电子枪来产生一束高速电子。这些电子通过高压加速,通常在几千到几十千伏之...
一、二次电子成像原理 二次电子信号主要用于分析样品的表面形貌。二次电子只能从样品表面层5-10nm深度范围内被入射电子束激发出来，大于10nm时，虽然入射电子也能是核外电子脱离原子而变成自由电子，但因其能量较低以及平均自由程较短，不能逸出样品表面，最终只能被样品吸收。被入射电子束激发出的二次电子数量和原子...
扫描电子显微镜(SEM)是进行材料分析的一种大型的电子显微镜成像系统,其工作原理是利用阴极发射的电子束经阳极加速,磁透镜聚焦后,轰击到样品表面,激发出多种物理信息,经过收集放大在显示屏上得到相应的图形。 细聚焦高能电子束轰击样品表面时,被激发的区域可以产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线、透射电子,...