RF Match：射频匹配器，由Load 电容和Tune 电容并联构成，Load 电容实现负载电阻匹配，Tune 电容实现负载相位匹配，与反应室串联。Process chamber：反应腔室薄膜沉积的环境，plasma 在上下极板中产生，可看成一个平行板电容器。1.2 RF 系统匹配原理现假设RF Generator 阻抗为Z S =R S +jX S ，负载阻抗Z L ...
1 PECVD RF 系统 1.1 PECVD RF 系统构成 PECVD G8.5 设备 RF 系统构成如图 2,包括 RF Generator,RF match,反应 腔室。 RF Generator:射频发生器,频率 13～14MHz 可变。 RF Match:射频匹配器,由 Load 电容和 Tune 电容并联构成,Load 电容实 现负载电阻匹配,Tune 电容实现负载相位匹配,与反应室串联。
PA的前端正常有一个一级驱动（控制板晶振给定信号），一级放大，二级放大，也要看RF的power大小 ...
匹配器是根据用户负载的变化而调节自己的参数（电感与电容）达到阻抗匹配的目的，以减少反射的目的！射频电源匹配器设计应用交流QQ群128657795 这个行业从业的人员好少，平时都没什么交流的地方，遇到问题都没人参与讨论，小弟邀请要射频电源和匹配器行业精英加入一起探讨射频电源和匹配器开发与应用。
摘要: 本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理.结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的分析,制定了相应的解决对策,从而实现RF系统阻抗匹配,降低RF系统故障发生率.关键词: PECVD;阻抗匹配;反射功率;射频发生器;匹配器 ...
建议参考Eroglu, Abdullah - Introduction to RF power amplifier design and simulation ...
PECVD+RF系统原理和故障改善 下载积分: 1250 内容提示: 55中国设备工程 EngineeringhinaC Plant中国设备工程 2019.05 (上)随着显示技术的快速发展,PECVD 技术 ( 等离子增强化学气相淀积 ) 作为非金属薄膜沉积工艺,应用越来越广泛, 它利用低压下气体辉光放电过程来激活分子,从而降低了化学气相淀积的温度。在当前各种等离子...
建议参考Eroglu, Abdullah - Introduction to RF power amplifier design and simulation ...