本发明公开一种(100)择优取向的PMNPZT/PZT异质结构薄膜的制备方法,属于压电薄膜材料制备领域.步骤包括:1)种子层制备.将钛酸四丁酯加入乙酰丙酮溶液,待混合液澄清后加入硝酸锆和乙酸铅,然后加入溶剂乙二醇甲醚,最后再加入甲酰胺作为稳定剂,制备种子层前驱体溶液,将种子层前驱体溶液沉积在Pt/Ti/SiO邹赫麟...
原子氧处理减小多晶pzt_pmn薄膜漏电流的实验研究,原子氧处理减小多晶pzt_pmn薄膜漏电流的实验研究,漏电流,泄漏电流,泄漏电流测试方法,避雷器泄漏电流,漏电流传感..
实验结果表明:经原子氧处理后的PZT-PMN薄膜,①表面粗糙度下降且有非晶层形成;②表层有大量的氧原子进 入;③漏电流密度减小了大约一个数量级,外加电压为2.5 V时,未处理样品的漏电流密度为3×10-5A/cm2,处理样品的漏电流密度降为4.5×10-6A/cm2.原子氧对PZT-PMN薄膜内部晶界,缺 陷的钝化是薄膜漏电流减小的...
一种(100)择优取向的PMN-PZT/PZT异质结构薄膜的制备方法专利信息由爱企查专利频道提供,一种(100)择优取向的PMN-PZT/PZT异质结构薄膜的制备方法说明:本发明公开一种(100)择优取向的PMN‑PZT/PZT异质结构薄膜的制备方法,属于压电薄膜材...专利查询请上爱企查
对PZT性能的影响.通过XRD测得所有薄膜具备单一的钙钛矿相和(111)择优取向.使用扫描电子显微镜(SEM)观察到多层薄膜呈现致密的没有明显缺陷的钙钛矿结构.研究发现,在PMN-PZT和PZT的厚度比为2:1的条件下介电性能达到最佳,在频率为1 kHz时测得εr = 1237.9,tanδ = 0.048.使用标准铁电测试系统测得PMN-PZT和PZT的...