原子氧处理减小多晶pzt_pmn薄膜漏电流的实验研究,原子氧处理减小多晶pzt_pmn薄膜漏电流的实验研究,漏电流,泄漏电流,泄漏电流测试方法,避雷器泄漏电流,漏电流传感..
对PZT性能的影响.通过XRD测得所有薄膜具备单一的钙钛矿相和(111)择优取向.使用扫描电子显微镜(SEM)观察到多层薄膜呈现致密的没有明显缺陷的钙钛矿结构.研究发现,在PMN-PZT和PZT的厚度比为2:1的条件下介电性能达到最佳,在频率为1 kHz时测得εr = 1237.9,tanδ = 0.048.使用标准铁电测试系统测得PMN-PZT和PZT的...