亲，ocd光学线宽测量和cd-sem的区别如下：SEM作为显微镜，可以放大微观物体形态，一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下，放大倍数一般不会漂移，精度可靠。但随着温湿度变化，随着电磁环境变化，可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同，完全靠扫描线圈和电器元件控制，电器元件的老化，可...
金融界2025年4月18日消息,国家知识产权局信息显示,中导光电设备股份有限公司申请一项名为“一种基于3D模型关系的OCD测量方法”的专利,公开号CN119803283A,申请日期为2024年12月。 专利摘要显示,本发明提供一种基于3D模型关系的OCD测量方法,包括:采集显微镜在不同高度时3D量测对象的平面量测结果,每个平面量测结果对...
SEM作为显微镜，可以放大微观物体形态，一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下，放大倍数一般不会漂移，精度可靠。但随着温湿度变化，随着电磁环境变化，可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同，完全靠扫描线圈和电器元件控制，电器元件的老化，可能会引起放大倍数漂移，因此过两年需要校准放...