亲，ocd光学线宽测量和cd-sem的区别如下：SEM作为显微镜，可以放大微观物体形态，一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下，放大倍数一般不会漂移，精度可靠。但随着温湿度变化，随着电磁环境变化，可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同，完全靠扫描线圈和电器元件控制，电器元件的老化，可...
测量CD的设备主要有两种:CD-SEM/扫描电子显微镜和OCD(光学关键尺寸测量设备)。CD-SEM具有高精度的CD测量功能,还能测量线宽变化和线边缘粗糙度,但它测量速度慢,设备体积大,不利于集成。同时,CD-SEM不能有效地测量具有多边结构的多晶硅栅极线宽、浅沟道隔离(STI)的深度和剖面图形形貌等。另外,CD-SEM测量局部数据点线...
本发明的关键点是，（1）采用不同高度下的2D成像构建3D模型的方式（2）利用高度和平面结果的关系总结出感兴趣的关键尺寸；（3）对数据进行校验和排查异常、干扰等预处理，利用抛物线的特征求取量测结果。本发明的优点在于：通过大量的数据验证，该方法稳定性和准确性较好，和CDSEM匹配度较高。天眼查资料显示，中导...
炒股第一步,先开个股票账户 金融界2025年4月18日消息,国家知识产权局信息显示,中导光电设备股份有限公司申请一项名为“一种基于3D模型关系的OCD测量方法”的专利,公开号CN119803283A,申请日期为2024年12月。 专利摘要显示,本发明提供一种基于3D模型关系的OCD测量方法,包括:采集显微镜在不同高度时3D量测对象的平面...
針對 AEI 結構進 行的量測結果與 CD-SEM 相符,由 OCD 計算得出的輪廓也與 X-SEM 吻合。因為光罩樣品的 X-SEM 影像取得不易, 利用 OCD 量測以得到輪廓資訊的方法就更加吸引人。 這些資訊對於監控光罩直寫 機的性能表現與蝕刻製程的控制相當有用。SST-AP/Taiwan 作者 Ray Hoobler 賓州大學化學博士, Nano...
本发明的关键点是,(1)简单采用不同高度下的2D成像构建3D模型的方式;(2)利用G、B色光下量测对象的不同表现特征进行数据融合;(3)利用数据的收敛和波动规律推断感兴趣的关键尺寸。本发明的优点在于:通过大量的数据验证,该方法稳定性和准确性较好,和CDSEM匹配度较高。
We handle that trade-off with a new sampling scheme optimizer supporting CD-SEM and OCD data. Generally, we can use the sampling scheme optimization for a set of different features and their measured parameters in parallel. Especially in logic, but also for memory, the focus and dose ...
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本发明的优点在于:通过大量的数据验证,该方法稳定性和准确性较好,和CDSEM匹配度较高。 天眼查资料显示,中导光电设备股份有限公司,成立于2006年,位于肇庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本17650万人民币。通过天眼查大数据分析,中导光电设备股份有限公司共对外投资了1家企业,...