CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器,以实现在高吞吐率和高重复性下获得精确的线宽测量。CD-SEM 的测量重复性约为测量宽度的 1% 3σ。 3.自动化程度差异 CD-SEM与SEM的自动化操作步骤:将样品晶圆放入晶圆盒内,然后将晶圆...
CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器,以实现在高吞吐率和高重复性下获得精确的线宽测量。CD-SEM 的测量重复性约为测量宽度的 1% 3σ。 自动化程度差异 CD-SEM与SEM的自动化操作步骤:将样品晶圆放入晶圆盒内,然后将晶圆盒放置在 CD-SEM/SEM 上。预先将尺寸测量的...
CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器,以实现在高吞吐率和高重复性下获得精确的线宽测量。CD-SEM 的测量重复性约为测量宽度的 1% 3σ。 3.自动化程度差异 CD-SEM与SEM的自动化操作步骤:将样品晶圆放入晶圆盒内,然后将晶圆盒放置在 CD-SEM/SEM 上。预先将尺寸测量...
我们建议在这项工作中具体讨论的另一个挑战是SEM轮廓与标准SEM-CD的匹配问题[10,14]。证明SEM轮廓与参考SEM-CD的兼容性似乎是将SEM轮廓确立为可在制造环境中采用的可靠和成熟的替代计量方法的先决条件。 图2 标准SEM-CD与SEM轮廓匹配 本工作的目的是提出一种评估和优化参考标准SEM-CD(CD_Ref)和SEM轮廓(CD_Cont...
CD-SEM与普通SEM的区别在于其专用于测量特征尺寸，特别适用于芯片制造中的线宽控制。CD-SEM使用低能量电子束扫描样品表面，以精确测量线宽、孔径等尺寸，而普通SEM则更多关注于图像质量和分辨率。CD-SEM配置专门设计的电子枪、透镜和检测器，以实现高精度、高速度的尺寸测量，并具有高度的自动化能力，适用于...
研究SEM轮廓与CD-SEM匹配 在半导体制造中，扫描电子显微镜（SEM）用于精确控制和表征晶片上的精细半导体器件，通过提取图像中的平行边缘来确定临界尺寸（CD）。然而，复杂2D图案处理时常导致不精确测量，SEM轮廓技术提供了一种更通用、稳健的替代方案。本研究旨在评估和优化参考标准SEM-CD与SEM Contours之间的...
摘要:自从散射成像技术开始应用于IC制造业后,就没有停止过与特征尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)之间的竞争,伴随着激烈的竞争,两项技术都不断地进行着改进(图1)。从半导体技术发展蓝图的角度来讲,这种竞争所产生的结果是正面的。现在,CD-SEM通过分析多条线,获取特征尺寸(CD)的信息;CD-SEM也正在朝着同时分析多条线...
这些成就使得东方晶源在国产EBI与CD-SEM领域脱颖而出，成为行业的佼佼者。作为一家高新技术企业，东方晶源深知人才是公司发展的核心。目前，公司研发人员占比高达近70%，其中不乏来自世界一流半导体科技公司的产品研发和管理人才。他们的丰富经验，为东方晶源的产品研发提供了坚实的支撑。公司目前的主要产品包括纳米级电子...
湖南贝哲斯信息咨询有限公司 提供的 2022年半导体CD-SEM市场调研与规划建议报告,2022年全球半导体CD-SEM市场规模达 亿元(人民币),中国半导体CD-SEM市场容量达亿元人民币。报告预测到2028年全球半导体CD-SEM市场规模将达 亿元,2022至2028期间,年复合增长
同时,在集成电路制造中,多层制造需要对标记进行极高精度的检测"显然,光学的无损伤检测方式己无法应用于10nm尺度范围,因此基于能量束的检测方法是必须采取的方式"。目前工业界采用CD一SEM对小特征尺寸进行测量。