CD-SEM是特征尺寸测量用扫描高分辨率的电子显微镜，主要是用来测量光刻胶图形的尺寸。国内首台8 英寸CD-SEM，是东方晶源生产的8 英寸关键尺寸量测设备，型号是“SEpA-c300”。这款产品，是基于东方晶源 12 英寸CD-SEM的技术积累，面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺，也是生产出8英寸晶圆的必备机器之一。它的作用和...
临界尺寸SEM（CD-SEM：临界尺寸扫描电子显微镜）是一种专用系统，用于测量在半导体 晶片上形成的精细图案的尺寸。CD-SEM主要用于半导体电子设备的生产线。与通用SEM不同的三个主要CD-SEM功能：照射到样品的CD-SEM一次电子束具有1keV或更低的低能量。 降低 CD-SEM电子束的能量可以减少由于充电或电子束辐照而对样品...
CD-SEM照射样品的一次电子束能量较低,为1keV或以下。这是由于光刻胶或其他微结构很脆弱,降低CD-SEM电子束的能量可以减少电子束照射对样品的损伤,这样有利于晶圆进行下一步工序。 量测精度的差异 CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器,以实现在高吞吐率和高重复性下获...
日前，“2024集成电路产业链协同创新发展交流会暨中国集成电路创新联盟大会”在北京举行，会上颁发了“第七届集成电路产业技术创新奖”（简称IC创新奖）。经过申报、受理、评选等环节，东方晶源自主研发的关键尺寸量测设备CD-SEM成功斩获第七届IC创新奖——成果产业化奖。CD-SEM用于集成电路硅片图形关键尺寸量测，是良...
临界尺寸SEM(CD-SEM:临界尺寸扫描电子显微镜)是一种专用系统,用于测量在半导体 晶片上形成的精细图案的尺寸。CD-SEM主要用于半导体电子设备的生产线。 与通用SEM不同的三个主要CD-SEM功能: 照射到样品的CD-SEM一次电子束具有1keV或更低的低能量。 降低 CD-SEM电子束的能量可以减少由于充电或电子束辐照而对样品造成...
经过申报、受理、评选等环节,东方晶源自主研发的关键尺寸量测设备CD-SEM成功斩获第七届IC创新奖——成果产业化奖。 CD-SEM用于集成电路硅片图形关键尺寸量测,是良率控制核心设备。该类设备被日本和美国公司垄断,国内空白,属于“卡脖子”产品。东方晶源自2021年先后推出12英寸CD-SEM和6&8英寸兼容CD-SEM设备,成功突破...
日前,“2024集成电路产业链协同创新发展交流会暨中国集成电路创新联盟大会”在北京举行,会上颁发了“第七届集成电路产业技术创新奖”(简称IC创新奖)。经过申报、受理、评选等环节,东方晶源自主研发的关键尺寸量测设备CD-SEM成功斩获第七届IC创新奖——成果产业化奖。
CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器,以实现在高吞吐率和高重复性下获得精确的线宽测量。CD-SEM 的测量重复性约为测量宽度的 1% 3σ。 3.自动化程度差异 CD-SEM与SEM的自动化操作步骤:将样品晶圆放入晶圆盒内,然后将晶圆盒放置在 CD-SEM/SEM 上。预先将尺寸测量...
据东方晶源发布，近日，东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自 2021 年 6 月首台 12 英寸 CD-SEM 出机后，东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展。东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c300）基于东方晶源 12 英寸关键尺寸量测...
CD-SEM与普通SEM的区别 虽然两者在技术原理上有很多相似之处,但由于不同的应用侧重点,CD-SEM和普通SEM在实际的配置和使用中存在较大区别。 1.电子束的能量差异 CD-SEM照射样品的一次电子束能量较低,为1keV或以下。这是由于光刻胶或其他微结构很脆弱,降低CD-SEM电子束...