第一台研发型EUV光刻机(NXE3100)通过专门的大型货运飞机抵达台积电位于新竹科技园区的研发基地;2013年,ASML交付给了台积电第二台的改进后的EUV光刻机(NXE3300);2016年1月,ASML交付给了台积电接近最后一款改进型的EUV光刻机型号(NXE3350)…… EUV光刻,终成主角! OEUV光刻,终成主角! EUV光刻,终成主角! EUV已经...
Compared to ADT, the effect of COMA is reduced significantly in NXE3100, while the effect of Astigmatism still dominant at NXE3100 in patterning of 1Xnm contacts holes. Aberration effect can be more sensitive dependent on illumination mode. Aberration need to be improved for 1Xnm node ...
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