Park NX-Wafer是业界领先的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和衬底的自动缺陷检测以及CMP轮廓测量。Park NX-Wafer具有最高的纳米级表面分辨率和亚埃级的高精度。在持续扫描后,探针针尖的变化可以忽略不计,仍具有高超的针尖锐度保护力。Park NX-Wafer以其独特的自动系统...
Park NX-Wafer的特征 长范围轮廓仪 长范围轮廓仪是原子力轮廓仪(AFP)的重要组成部分,并且具有用于自动CMP轮廓扫描和分析的专用用户界面。 • 200mm : 10 mm • 300mm : 25 mm (optional 10 mm or 50 mm) 采用闭环双伺服系统的100μm×100μm柔性导向XY扫描器 ...
关键词 :NX-Wafer,晶圆,原子力显微镜,AFM,工业级原子力显微镜 产品手册下载 高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制,通过提供低于0.5埃 的业界低噪音,并将与...
Park NX-Wafer的特征长范围轮廓仪长范围轮廓仪是原子力轮廓仪(AFP)的重要组成部分,并且具有用于自动CMP轮廓扫描和分析的专用用户界面。• 200mm : 10 mm• 300mm : 25 mm (optional 10 mm or 50 mm)采用闭环双伺服系统的100μm×100μm柔性导向XY扫描器XY扫描仪由对称的二维挠曲和高-力的压电堆组成,...
Park NX-Wafer的特征长范围轮廓仪长范围轮廓仪是原子力轮廓仪(AFP)的重要组成部分,并且具有用于自动CMP轮廓扫描和分析的专用用户界面。• 200mm : 10 mm• 300mm : 25 mm (optional 10 mm or 50 mm)采用闭环双伺服系统的100μm×100μm柔性导向XY扫描器XY扫描仪由对称的二维挠曲和高-力的压电堆组成,...
产品编号:Park NX-Wafer 所属品牌:韩国帕克 产品型号:Park NX-Wafer 额定功率:按实际方案提供 所属类别:原子力显微镜 所属用途:表面分析 应用领域:产品特性:晶圆厂具有自动缺陷检测的原子力显微镜,全自动AFM解决了缺陷成像和分析问题,提高缺陷检测生产率达1000%.帕克的智能ADR技术提供全自动的缺陷检测和识别,使得...
Park NX-Wafer产品彩页介绍2019-11-11 Park帕克原子力显微镜 0 Bytes [样本] 领域:电子/电器/半导体,纳米材料,高分子材料 资料类型:样本 NX-Wafer原子力显微镜提供精准的形貌量測,可用來监控化学机械研磨平面化制程,检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷(dishing)效应与浸蚀(erosion)效应 NX-Wafer同時具备原子力...
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