产品编号:Park NX-Wafer 所属品牌:韩国帕克 产品型号:Park NX-Wafer 额定功率:按实际方案提供 所属类别:原子力显微镜 所属用途:表面分析 应用领域:产品特性:晶圆厂具有自动缺陷检测的原子力显微镜,全自动AFM解决了缺陷成像和分析问题,提高缺陷检测生产率达1000%.帕克的智能ADR技术提供全自动的缺陷检测和识别,使得...
Park NX-Wafer实现了CMP测量,包括凹陷、侵蚀和边缘过度侵蚀(EOE)的局部和全局的平坦度测量。亚埃级表面粗糙度控制半导体供应商正在开发超平坦晶圆,以解决不断缩小元件尺寸的需求。然而,从来没有一个计量工具能够给这些拥有亚埃级粗糙度的衬底表面提供准确和可靠的测量。通过在整个晶圆区域提供低于0.5A的业界噪声下限,并...
Park NX-Wafer的特征 长范围轮廓仪 长范围轮廓仪是原子力轮廓仪(AFP)的重要组成部分,并且具有用于自动CMP轮廓扫描和分析的专用用户界面。 • 200mm : 10 mm • 300mm : 25 mm (optional 10 mm or 50 mm) 采用闭环双伺服系统的100μm×100μm柔性导向XY扫描器 ...
Park NX-Wafer技术参数 系统规格 电动XY平台 200mm: 行程可达275 mm × 200 mm, 0.5 μm 分辨率 300mm: 行程可达400 mm × 300 mm, 0.5 μm分辨率, 1 µm重复性 电动Z 平台 25 mm Z行程距离, 0.08 µm分辨率, < 1 µm重复性 电动聚焦平台 ...
Park NX-Wafer的特征长范围轮廓仪长范围轮廓仪是原子力轮廓仪(AFP)的重要组成部分,并且具有用于自动CMP轮廓扫描和分析的专用用户界面。• 200mm : 10 mm• 300mm : 25 mm (optional 10 mm or 50 mm)采用闭环双伺服系统的100μm×100μm柔性导向XY扫描器XY扫描仪由对称的二维挠曲和高-力的压电堆组成,...
Park systems NX-Wafer 原子力显微镜 查看产品 更多原子力显微镜 服务流程/ Service process 400-822-6768 在线询盘 解决方案 在线下单 落单生产 物流快运 售后服务 技术资料解决方案产品文章公司新闻 2021-08-11 13:14:59· Park system NX-HDM 原子力显微镜产品样册 ...
Park NX-Wafer产品彩页介绍2019-11-11 Park帕克原子力显微镜 0 Bytes [样本] 领域:电子/电器/半导体,纳米材料,高分子材料 资料类型:样本 NX-Wafer原子力显微镜提供精准的形貌量測,可用來监控化学机械研磨平面化制程,检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷(dishing)效应与浸蚀(erosion)效应 NX-Wafer同時具备原子力...
△Park NX-Wafer洁净室现场演示 革新技术之“三轴分离扫描器技术及非接触模式”对AFM结构进行重新设计，将XY扫描器和Z扫描器分离，两组独立的柔性扫描器分别移动样品和探针，两组扫描器都配置柔性铰链和大功率叠层压电驱动器。快速z扫描器则为真正的非接触模式提供了可能，实现了探针与样品间的真正非接触，避免形貌...
精准高效- ParkNX-Wafer 低噪声,高吞吐量自动化原子力轮廓仪 Park NX-Wafer是业界领先的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和衬底的自动缺陷检测以及CMP轮廓测量。Park NX-Wafer具有最高的纳米级表面分辨率和亚埃级的高精度。在持续扫描后,探针针尖的变化可以忽略不计地...
帕克NX20 原子力显微镜 ￥250-300万 帕克NX10 原子力显微镜 ￥100-150万 帕克NX-Wafer 原子力显微镜 ￥500-1000万 帕克NX-Hivac 原子力显微镜 ￥200-300万 帕克NX20 300 mm 原子力显微镜 ￥250-300万 帕克NX12 原子力显微镜 面议 帕克NX10 SICM 扫描离子电导显微镜 ￥100-150万 产品...