进入NSR-2005G8C,STEPPER 操作系统 2.待程序出现上图界面是手动输入:@OPENUP XINRUI NSR-2005G8C 基本操作作业资料 XRC 密级C级V201705A/0 4 然后按Enter键进行下一个指令。屏幕显示此画面视为修改时间日期,咱们不做修改,继续按 Enter键进行下一个指令。然后系统将自动运行程序代码,此过程我们继续等待。 XINRUI...
投影透镜i线曝光装置步进机设计尺寸曝光面积对准系统对准标记抗蚀剂微细化随着大规模集成电路(LSI)微细化的高速发展,缩小投影透镜自身的极限分辨率和在实际工艺中所使用的设计尺寸之间的数值差别越来越小.同时,设计尺寸的焦深问题已成为人们关注的目标.从64MDRAM的研制成果可以看出:随着集成度的增大,微细化程度的提高,芯片...